[发明专利]一种新型光学加压无研具抛光装置

权利要求书

1.一种新型光学加压无研具抛光装置，其特征在于，包括电机驱动模块、密封罐模块、加压模块，所述加压模块通过软管与所述密封罐模块相连接；

所述电机驱动模块包括电机、磁力耦合器、旋转盘、旋转支架、工件安装盘以及保形填平板，所述电机驱动模块用于驱动被加工件相对于所述密封罐模块做旋转运动；

所述电机包括一个公转电机和至少一个自转电机，所述磁力耦合器包括一个公转磁力耦合器和至少一个自转磁力耦合器，所述公转电机与所述公转磁力耦合器下半部分对应连接，所述自转电机与所述自转磁力耦合器的下半部分一一对应连接；

所述公转磁力耦合器的下半部分固定安装在所述旋转盘的中心，所述公转磁力耦合器上半部分的转子与所述旋转支架相连接，所述公转磁力耦合器上半部分的定子固定安装于所述密封罐体底部；

所述自转磁力耦合器上半部分的转子与所述工件安装盘相连接，所述自转磁力耦合器上半部分的定子固定安装于所述旋转支架上；

所述保形填平板固定安装于所述旋转支架上，用于抑制所述抛光液在被加工件表面产生乱流运动；

所述密封罐模块包括密封罐体、密封盖、止流板、磁场生成装置、过滤器以及密封罐体内部的抛光液，所述抛光液为具有磁流变性质的抛光液；

所述磁场生成装置与所述过滤器均安装于所述密封罐体上，对被加工件的抛光加工发生在所述密封罐模块内；

所述止流板安装于所述密封盖内侧，所述止流板用于抑制所述抛光液相对于所述密封罐体的流动；

所述加压模块包括软管、压力生成器，所述软管的两端分别于与所述压力生成器以及所述密封盖上的进气装置相连接，所述加压模块为所述密封罐模块提供所需压力。

2.根据权利要求1所述的一种新型光学加压无研具抛光装置，其特征在于：所述自转电机分布在所述旋转盘外围，并通过自转电机固定板与所述旋转盘保持相对固定。

3.根据权利要求1所述的一种新型光学加压无研具抛光装置，其特征在于：所述公转磁力耦合器以及所述自转磁力耦合器的上下部分均位于同一轴线上，且均不穿过所述密封罐体的底部，并与所述密封罐体的底部保持微小的间隙。

4.根据权利要求1所述的一种新型光学加压无研具抛光装置，其特征在于：所述磁场生成装置沿轴向分段安装在所述密封罐体上，用于控制所述密封罐体内的磁场分布和磁场强度。

5.根据权利要求1所述的一种新型光学加压无研具抛光装置，其特征在于：所述公转电机固定安装于底板上，所述底板通过支架与密封罐模块保持相对固定。

6.根据权利要求1所述的一种新型光学加压无研具抛光装置，其特征在于：所述保形填平板的外形同被加工件与所述工件安装盘形成的高低落差和空隙相适应，用于对所述高低落差和空隙进行填充。