[发明专利]液体传感装置及其制备方法

权利要求书

1.一种液体传感装置，包括：

一基板；

一工作电极，设置在该基板上，其中，该工作电极包括一第一金属部和一第一传感部，且该第一传感部设置在该第一金属部上；以及

一参考电极，设置在该基板上。

2.根据权利要求1所述的液体传感装置，其中，该参考电极包括一第二金属部和一金属化合物部，该金属化合物部设置在该第二金属部上，其中，该第一金属部和该第二金属部为相同层。

3.根据权利要求2所述的液体传感装置，还包括：一第一附着部，设置在该基板与该第一金属部之间；以及一第二附着部，设置在该基板与该第二金属部之间，该第一附着部和该第二附着部为相同层。

4.根据权利要求3所述的液体传感装置，其中，该第一附着部和该第二附着部为金属氧化物。

5.根据权利要求1所述的液体传感装置，还包括：一第一绝缘层，设置在该工作电极上，该工作电极包括一表面，该表面具有一边缘，该第一绝缘层覆盖该工作电极的该表面的该边缘。

6.根据权利要求1所述的液体传感装置，还包括一第一绝缘层，设置在该工作电极上，该基板具有一第一侧壁，该第一绝缘层具有一第二侧壁，且该第一侧壁与该第二侧壁间的最小距离为25μm～1000μm。

7.根据权利要求1所述的液体传感装置，其中，在一俯视方向上，该工作电极具有一弧形边缘。

8.一种液体传感装置的制备方法，包括下列步骤：

提供一基板；

形成一金属层在该基板上；

图案化该金属层，以形成一第一金属部和一第二金属部；以及

形成一工作电极和一参考电极，该工作电极包括该第一金属部，该参考电极包括该第二金属部。

9.根据权利要求8所述的液体传感装置的制备方法，还包括：

在形成该金属层之前，形成一附着层在该基板上；

图案化该附着层，以形成一第一附着部和一第二附着部，其中，该第一金属部设置在该第一附着部上，该第二金属部设置在该第二附着部上。

10.根据权利要求8所述的液体传感装置的制备方法，还包括：

在形成该金属层之后，形成一传感层；

图案化该传感层，以形成一第一传感部和一第二传感部，其中该第一传感部设置在该第一金属部上，该第二传感部设置在该第二金属部上；

除去至少部分的该第二传感部以显露出至少部分的该第二金属部；以及

使该至少部分的该第二金属部反应而形成一金属化合物部。