[发明专利]多角度调节的下模组件及塑封压机在审
申请号: | 202110657152.9 | 申请日: | 2021-06-11 |
公开(公告)号: | CN113183383A | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 朱庆辉 | 申请(专利权)人: | 芯笙半导体科技(上海)有限公司 |
主分类号: | B29C43/18 | 分类号: | B29C43/18;B29C43/36;B29C43/32;B29L31/34 |
代理公司: | 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 11751 | 代理人: | 陈佳妹;贾满意 |
地址: | 201712 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 角度 调节 模组 塑封 | ||
本申请涉及一种多角度调节的下模组件,包括下模具及驱动部;所述下模具的上部中心处用以放置待塑封件;所述驱动部纵向设置,安装在所述下模具的下部,且所述驱动部的个数两个以上,每个所述驱动部能够单独带动所述下模具上下移动,多角度调节其上的所述待塑封件。通过多个可独立工作的驱动部直连到下模具,驱动下模具运动,且设置在不同位置,在不同方向实现微调模具的位置,在塑封压机中,驱动多个驱动部同步运动及各自单独运动实现塑封合模时,实现待塑封件在不同方向上塑封后塑封体厚度尺寸满足公差要求。
技术领域
本申请涉及塑封设备领域,尤其涉及一种多角度调节的下模组件及塑封压机。
背景技术
目前,塑封压机用于半导体元器件、集成电路的热固性塑料封装,而传统的芯片塑封压机采用的是电机连接曲柄的驱动机构,由曲柄机构推动模具上下塑封合模,曲柄机构间接驱动模具上下运动,来实现合模塑封。
当电机连接曲柄驱动模具上+下移动时,不能实现在塑封合模过程中,在不同方向的位置调整,对于大面积塑封,如晶圆级或面板级的塑封体,传统的单轴驱动塑封压机无法进行塑封处理。
发明内容
有鉴于此,本申请提出了一种多角度调节的下模组件,包括下模具及驱动部;所述下模具的上部中心处用以放置待塑封件;所述驱动部纵向设置,安装在所述下模具的下部,且所述驱动部的个数两个以上,每个所述驱动部能够单独带动所述下模具上下移动,多角度调节其上的所述待塑封件。
在一种可能的实现方式中,所述下模具为方体结构;所述驱动部的个数为2-5个,且相邻的所述驱动部等间距排布。
在一种可能的实现方式中,所述驱动部的个数为4个,且所述驱动部到所述下模具的中心距离相同。
在一种可能的实现方式中,还包括下模基座;所述下模基座的上部具有凹槽,与所述下模具相匹配,所述下模基座的下部与所述驱动部相抵接,所述下模基座的上部边缘位于所述下模具的中部并向外延伸。
在一种可能的实现方式中,所述驱动部包括动力组件、纵向设置的调节立柱及升降座;所述下模基座底部开设有调节孔,数量与所述驱动部一一对应,;所述动力组件的输出端开设有轴孔;所述调节立柱竖直设置,下端伸入至所述轴孔内,与所述动力组件传动连接,所述调节立柱的上端伸入至所述调节孔内;所述升降座套设在所述调节立柱上,且所述升降座的上端与所述下模基座的下部相抵接。
在一种可能的实现方式中,还包括底座及支撑组件;所述底座设置在所述下模基座与所述动力组件之间,且所述底座与所述动力组件固定连接,所述底座为方体结构,其上开设有通孔,所述通孔与所述调节孔的数量相同,位置一一对应,所述调节立柱的中部穿设在所述通孔内;所述支撑组件安装在所述通孔内,用以支撑所述调节立柱。
在一种可能的实现方式中,所述动力组件包括腔体、伺服电机及减速机;所述腔体为“L”形,所述腔体的一端伸入至所述底座下方,所述伺服电机与所述减速机位于所述腔体内,二者间相互传动连接,所述减速机的输出端与所述调节立柱传动连接。
在一种可能的实现方式中,所述动力组件的轴孔内安装有锁紧块,用以固定所述调节立柱;向外延伸的所述下模基座的外侧平均分布有多个模具温控装置;所述下模具上设置有抽真空装置,所述抽真空装置位于所述下模基座的上方。
另一方面,本申请提出了一种塑封压机,包括上述任一项所述的多角度调节的下模组件、上模组件及机架;所述上模组件与所述多角度调节的下模组件相适配,所述机架架设固定在所述上模组件外,且所述机架的下端与所述多角度调节的下模组件固定连接;所述机架包括竖直设置的导向柱,所述多角度调节的下模组件穿设在所述导向柱上。
在一种可能的实现方式中,还包括压力监控部及控制部;所述压力监控部设置在所述导向柱上,位于所述下模具的旁侧;所述控制部分别与所述压力监控部、所述动力组件电连接。
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