[发明专利]α粒子发射率测量方法在审

专利信息
申请号: 202110654439.6 申请日: 2021-06-11
公开(公告)号: CN113484894A 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 张战刚;罗俊洋;雷志锋;黄云;陈资文;彭超;何玉娟;肖庆中;李键坷;路国光 申请(专利权)人: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
主分类号: G01T1/16 分类号: G01T1/16
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 郭凤杰
地址: 511300 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 粒子 发射 测量方法
【权利要求书】:

1.一种α粒子发射率测量方法,其特征在于,包括:

对粉末样品进行定型制样;

分别对样品托盘和空的样品容器进行α粒子发射率背底测试,获得所述样品托盘的α粒子发射率和空的所述样品容器的α粒子发射率;

对装满所述粉末样品的样品容器进行α粒子发射率测试,根据所述样品托盘的发射率和空的所述样品容器的α粒子发射率,获得所述粉末样品的α粒子发射率。

2.根据权利要求1所述的α粒子发射率测量方法,其特征在于,所述对粉末样品进行定型制样包括:

确定所述粉末样品的样品容器;

利用所述样品容器对所述粉末样品进行定型。

3.根据权利要求2所述的α粒子发射率测量方法,其特征在于,所述样品容器包括圆形容器。

4.根据权利要求3所述的α粒子发射率测量方法,其特征在于,采用超低α粒子发射率本底的材料制成所述样品容器。

5.根据权利要求1或2所述的α粒子发射率测量方法,其特征在于,在防沾污条件下,对粉末样品进行定型制样。

6.根据权利要求1所述的α粒子发射率测量方法,其特征在于,所述分别对样品托盘和空的样品容器进行α粒子发射率背底测试,获得所述样品托盘的α粒子发射率和空的所述样品容器的α粒子发射率包括:

获取所述样品托盘的表面积,以及对所述样品托盘进行α粒子发射率背底测试时的粒子计数和测试时间;

根据所述样品托盘的表面积、对所述样品托盘进行α粒子发射率背底测试时的粒子计数和测试时间,获取所述样品托盘的α粒子发射率;

获取所述样品容器的总表面积,以及对空的所述样品容器进行α粒子发射率背底测试时的粒子计数和测试时间;

根据述样品托盘的α粒子发射率、所述样品容器的总表面积、对空的所述样品容器进行α粒子发射率背底测试时的粒子计数和测试时间,获取空的所述样品容器的α粒子发射率。

7.根据权利要求6所述的α粒子发射率测量方法,其特征在于,所述根据所述样品托盘的表面积、对所述样品托盘进行α粒子发射率背底测试时的粒子计数和测试时间,获取所述样品托盘的α粒子发射率包括:

根据表达式计算所述样品托盘的α粒子发射率;

式中,Rt为所述样品托盘的α粒子发射率,单位为/cm2/hr,N0为对所述样品托盘进行α粒子发射率背底测试时的粒子计数,T0为对所述样品托盘进行α粒子发射率背底测试时的测试时间,单位为hr,St为所述样品托盘的表面积,单位为cm2

8.根据权利要求7所述的α粒子发射率测量方法,其特征在于,所述根据述样品托盘的α粒子发射率、所述样品容器的总表面积、对空的所述样品容器进行α粒子发射率背底测试时的粒子计数和测试时间,获取空的所述样品容器的α粒子发射率包括:

根据表达式计算空的所述样品容器的α粒子发射率;

式中,Rc为空的所述样品容器的α粒子发射率,单位为/cm2/hr,N1为对空的所述样品容器进行α粒子发射率背底测试时的粒子计数,Rt为所述样品托盘的α粒子发射率,单位为/cm2/hr,T1为对空的所述样品容器进行α粒子发射率背底测试时的测试时间,单位为hr,St为所述样品托盘的表面积,单位为cm2,Sc为所述样品容器的总表面积,单位为cm2

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