[发明专利]电子源

说明书

本申请公开了一种电子源，包括：第一导体(30a)、第二导体(30b)、发射尖端(10)、第一灯丝(20)以及第二灯丝(50)，其中发射尖端(10)用于加热后发射电子；第一导体(30a)和第二导体(30b)与电源连接，用于向发射尖端(10)提供电流；第一灯丝(20)与第一导体(30a)和第二导体(30b)连接，并与发射尖端(10)连接，用于通过电流为发射尖端(10)加热；以及第二灯丝(50)与第一导体(30a)和第二导体(30b)连接，用于传输与第一灯丝(20)方向相反的电流。

技术领域

本申请涉及电子显微镜技术领域，特别是涉及一种电子源。

背景技术

电子显微镜是当代科学研究、工程观察中重要的测量测仪器，在物理、材料、化学、生命等科研领域，半导体先进制程、工程材料检测等工业领域发挥着巨大的作用。电子源是其关键零部件之一，电子源的特性往往决定了电子显微镜的主要性能。以扫描电子显微镜为例：低端扫描电镜均使用发叉式热阴极(钨丝、六硼化镧)作为电子源，中高端电镜使用冷场发射单晶钨以及热场发射氧化锆-单晶钨电子源。电子源通常由弯折成V型的灯丝作为发射源或者加热源，陶瓷和电极引脚作为底座。V型的灯丝通以一定的电流可将其加热到足够的电子发射温度。该直流电流在电子源尖端产生磁场，电子源发射出的电子在此磁场中运动受洛伦兹力影响将偏离显微镜光轴，从而影响显微镜性能。

针对上述的现有技术中存在的现有的电子显微镜中的电子源在发射电子的情况下会产生磁场，由于磁场的影响发射的电子会偏离显微镜光轴，从而影响电子显微镜的性能的技术问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本公开提供了一种电子源，以至少解决现有技术中存在的现有的电子显微镜中的电子源在发射电子的情况下会产生磁场，由于磁场的影响发射的电子会偏离显微镜光轴，从而影响电子显微镜的性能的的技术问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种电子源，包括：第一导体、第二导体、发射尖端、第一灯丝以及第二灯丝，其中发射尖端用于加热后发射电子；第一导体和第二导体与电源连接，用于向发射尖端提供电流；第一灯丝与第一导体和第二导体连接，并与发射尖端连接，用于通过电流为发射尖端加热；以及第二灯丝与第一导体和第二导体连接，用于传输与第一灯丝方向相反的电流。

可选地，还包括：第一连接导体和第二连接导体，其中第一连接导体的一端与第二灯丝一端连接，第一连接导体的另一端与第一导体连接，并且第一连接导体的另一端与第二导体邻接；以及第二连接导体的一端与第二灯丝的另一端连接，第二连接导体的另一端与第二导体连接，并且第二连接导体的另一端与第一导体邻接。

可选地，第一导体为第一接线柱，第二导体为第二接线柱，并且电子源还包括用于固定第一接线柱和第二接线柱的绝缘座。

可选地，第一连接导体为第一导电板，并且第二连接导体为第二导电板。

可选地，第一导电板的另一端设置有与第一接线柱连接的凹形结构，以及第二导电板的另一端设置有与第二接线柱连接的凹形结构。

可选地，第一灯丝为设置有弯折部的V型灯丝，并且发射尖端设置于第一灯丝的弯折部。

可选地，第二灯丝为与第一灯丝并行设置的V型灯丝。

可选地，发射尖端包括：与第一灯丝连接的本体以及与本体连接的针尖，本体与针尖一体式结构。

可选地，第一灯丝和第二灯丝为钨丝。

可选地，第一灯丝加热温度为1400～2500℃。