[发明专利]一种光纤质量检测传感器

权利要求书

1.一种光纤质量检测传感器，其特征在于，包括：第一光纤(101)、第二光纤(102)、弹性部(20)、活动部(30)、载物台(40)、衬底(50)；

所述第一光纤(101)和第二光纤(102)的一端分别与活动部(30)贴合；贴合活动部(30)的第一光纤(101)的光纤头与第二光纤(102)的光纤头设置正对状态，所述第一光纤(101)与第二光纤(102)均置于衬底(50)上；所述衬底(50)中间有凹槽，凹槽内设置有弹性部(20)；

所述活动部(30)一端与弹性部(20)相连接，另一端连接载物台(40)；且其设置于第一光纤(101)与第二光纤(102)的两个光纤头之间；

所述活动部(30)为一段折射率逐渐增大的材料条；所述活动部(30)下端低于第一光纤(101)与第二光纤(102)所在的水平面；

所述第一光纤(101)与所述第二光纤(102)之间的间隔小于50微米；所述活动部(30)为一直径逐渐增大的圆台状材料条；

在光路接通情况下，载物台(40)上的物体因其重力会向下挤压活动部(30)；活动部(30)受挤压后向下移动，在光纤头正对部位内的活动部(30)的材料的折射率发生变化，改变了第一光纤(101)与第二光纤(102)之间的耦合特性，光谱仪与光探测器实现对物体质量的测量。

2.根据权利要求1所述的光纤质量检测传感器，其特征在于，所述第一光纤(101)与第二光纤(102)之间还设置有连接部(60)，所述连接部(60)与活动部(30)贴合，连接部(60)的材料为透明柔性材料。

3.根据权利要求2所述的光纤质量检测传感器，其特征在于，所述连接部(60)的一侧有缺口(70)，所述活动部(30)部分地设置在所述缺口(70)内。

4.根据权利要求2所述的光纤质量检测传感器，其特征在于，所述连接部(60)内部还设置有贵金属颗粒(80)。

5.根据权利要求4所述的光纤质量检测传感器，其特征在于，所述活动部(30)表面也设置有贵金属颗粒。

6.根据权利要求5所述的光纤质量检测传感器，其特征在于，所述贵金属颗粒为金或银。

7.根据权利要求1-6任一项所述的光纤质量检测传感器，其特征在于，所述衬底(50)包括：硅、氮化硅或玻璃中的一种。