[发明专利]连续激光损伤阈值测试装置

权利要求书

1.一种连续激光损伤阈值测试装置，其特征在于，包括激光器(LS)、光纤(RA)、QBH接头、扩束镜(EX)、偏振分束镜(PB)、第一检偏器(P1)、第二检偏器(P2)、第三反射镜(RM3)、第四反射镜(RM4)、第五反射镜(RM5)、第六反射镜(RM6)、第七反射镜(RM7)、第八反射镜(RM8)、第九反射镜(RM9)、第十反射镜(RM10)、第十一反射镜(RM11)、偏振合束镜(BC)、第一半波片(HW1)、第二半波片(HW2)、第一取样镜(SP1)、第一分束器(BS1)、第二聚焦透镜(FC2)、第二分束器(BS2)、光程补偿单元(OP)、窗口镜(WD)、待测样品(SA)、光源(LG)、光电探测器(PL)、成像显微镜(IM)、热成像探测器(TM)、第二取样镜(SP2)、刀口仪(ED)和第二功率计(PW2)，其中：

激光器(LS)发出的激光依次经过光纤(RA)和QBH接头准直后通入扩束镜(EX)得到扩束激光，所述扩束激光经过偏振分束镜(PB)切分为透射光束和反射光束；

所述透射光束依次经过第二半波片(HW2)、第二检偏器(P2)、第三反射镜(RM3)和第四反射镜(RM4)的光路反射偏转后被引导至偏振合束镜(BC)，所述反射光束依次经过第一半波片(HW1)、第一检偏器(P1)、第五反射镜(RM5)、第六反射镜(RM6)和第七反射镜(RM7)的光路反射偏转后被引导至偏振合束镜(BC)；

所述第一半波片(HW1)和第二半波片(HW2)分别用于反射光束和透射光束的偏振态调节，并分别与第一检偏器(P1)和第二检偏器(P2)配合实现互相垂直偏振态激光功率的高精度调节，所述偏振合束镜(BC)用于将所述互相垂直偏振态激光进行合束并输出合束激光；

所述第一取样镜(SP1)设置于偏振合束镜(BC)的出射光路上，用于将所述合束激光切分为第一反射子光束和第一透射子光束，所述第一透射子光束依次经过第一分束器(BS1)的透射、第八反射镜(RM8)、第九反射镜(RM9)和第十反射镜(RM10)的反射之后得到第二反射子光束，所述第二反射子光束依次经过第二聚焦透镜(FC2)和第二分束器(BS2)后再次切分为第三反射子光束和第三透射子光束；

所述第三透射子光束依次经过光程补偿单元(OP)和窗口镜(WD)之后会聚在待测样品(SA)的表面，所述光程补偿单元(OP)用于补偿由于激光辐照样品不同位置时产生的光程差；

所述待测样品(SA)周围设置有光源(LG)、光电探测器(PL)、成像显微镜(IM)和热成像探测器(TM)；

所述第三反射子光束依次经过第十一反射镜(RM11)的反射和第二取样镜(SP2)的透射后经由刀口仪(ED)接入第二功率计(PW2)，所述刀口仪(ED)与第二功率计(PW2)配合实现光束宽度或光束直径的测量。

2.根据权利要求1所述的连续激光损伤阈值测试装置，其特征在于，所述激光器(LS)为随机偏振连续激光光源，所述光纤(RA)为色散补偿光纤。

3.根据权利要求1所述的连续激光损伤阈值测试装置，其特征在于，所述第一半波片(HW1)用于将所述反射光束转换为P偏振光；

所述第二半波片(HW2)设置于用于将所述透射光束转换为S偏振光。

4.根据权利要求1所述的连续激光损伤阈值测试装置，其特征在于，还包括第一反射镜(RM1)、第二反射镜(RM2)和光阱(LT)，其中：

经过第二检偏器(P2)透射的光束依次经由第一反射镜(RM1)和第二反射镜(RM2)通入光阱(LT)，经过所述第一检偏器(P1)反射的光束也通入所述光阱(LT)，所述光阱(LT)用于吸收由于透射光束和反射光束的低线性度引起的杂散光。

5.根据权利要求1所述的连续激光损伤阈值测试装置，其特征在于，还包括第一聚焦透镜(FC1)、第一衰减片(AT1)和第一检测器(PD1)，其中：

所述第一反射子光束依次经过第一聚焦透镜(FC1)和第一衰减片(AT1)通入所述第一检测器(PD1)，所述第一检测器(PD1)用于检测所述反射子光束的远场光斑重合度；

所述第一检测器(PD1)设置于所述聚焦透镜(FC)的成像焦点位置。