[发明专利]用于利用交流波形进行离子迁移率分离的方法和设备

权利要求书

1.一种设备，包括：

第一表面，被配置用于接收离子，所述第一表面包括：

第一多个电极，包括第一电极和第二电极；所述第一多个电极沿第一方向延伸，其中，所述第一电极被配置用于接收包括第一射频(RF)电压信号的第一电压信号，所述第二电极被配置用于接收包括第二RF电压信号的第二电压信号；其中，所述第一电极沿着所述第一方向之横向的第二方向与所述第二电极间隔开；以及

第二多个电极，位于所述第一电极与所述第二电极之间并沿所述第一方向被间隔开，其中，所述第二多个电极被配置用于接收不同于所述第一电压信号和所述第二电压信号的第三电压信号，所述第三电压信号包括第一交流(AC)电压波形，其中，被施加到所述第二多个电极内的相邻电极的AC波形相移l°-359°，以生成沿所述第一方向的第一行波，并且沿所述第一方向引导所接收的离子。

2.如权利要求1的设备，其中，所述第一RF电压信号和所述第二RF信号相移180°。

3.如权利要求1的设备，其中，所述第一电极和所述第二电极被配置用于产生赝势，所述赝势抑制所接收的离子接近所述第一表面。

4.如权利要求1的设备，其中，所述第一表面是曲面，所述第一多个电极和所述多个第二电极与所述第一表面的曲率一致。

5.如权利要求1的设备，还包括多个保护电极，所述多个保护电极位于沿所述第二方向邻近所述第一和/或第二多个电极的最外侧电极的位置；其中，所述多个保护电极被配置用于接收直流(DC)电压并产生保护电场，所述保护电场被配置用于约束沿所述第二方向的离子运动。

6.如权利要求1的设备，其中，所述第一AC电压波形是一个或多个正弦波的叠加。

7.如权利要求1的设备，其中，所述第一表面还包括：

第三多个电极，包括第三电极和第四电极；所述第三多个电极沿第三方向延伸，其中，所述第三电极被配置用于接收第三RF电压信号，所述第四电极被配置用于接收第四RF电压信号；其中，所述第三电极沿着所述第三方向之横向的第四方向与所述第四电极间隔开；以及

第四多个电极，位于所述第三电极与所述第四电极之间并沿所述第三方向布置，其中，所述第四多个电极被配置用于接收第二AC电压波形，并响应于接收到所述第二AC电压波形而生成沿所述第三方向的第二行波；

其中，所述第二行波被配置用于沿所述第三方向引导所接收的离子。

8.如权利要求7的设备，其中，所述第三方向是所述第一方向，所述第四方向是所述第二方向。

9.一种方法，包括：

提供第一表面，所述第一表面包括：

第一多个电极，包括第一电极和第二电极；所述第一多个电极沿第一方向延伸；其中，所述第一电极沿着所述第一方向之横向的第二方向与所述第二电极间隔开；以及

第二多个电极，位于所述第一电极与所述第二电极之间并沿所述第一方向被间隔开；

沿所述第一表面提供离子；

向所述第一电极施加包括第一射频(RF)电压信号的第一电压信号，向所述第二电极施加包括第二RF电压信号的第二电压信号；

向所述第二多个电极施加第三电压信号，所述第三电压信号不同于所述第一电压信号和所述第二电压信号，所述第三电压信号包括第一AC电压波形，其中，被施加到所述第二多个电极内的相邻电极的AC波形相移l°-359°，以生成沿所述第一方向的第一行波，并且沿所述第一方向引导所接收的离子。

10.如权利要求9的方法，其中，所述第一RF电压信号和所述第二RF信号相移180°。

11.如权利要求9的方法，其中，所述第一电极和所述第二电极被配置用于产生赝势，所述赝势抑制所接收的离子接近所述第一表面。