[发明专利]一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具

说明书

本发明属于光学镀膜技术领域，具体涉及一种镀膜治具，包括用来夹持晶片的治具；治具包含治具上板和治具下板，所述治具上板与所述治具下板可拆卸连接；所述治具下板开设有第一通孔，所述治具上板开设有与所述第一通孔相对应的第二通孔；治具底板，所述治具底板分别与所述治具上板和所述治具下板可拆卸连接。本发明通过治具上板和治具下板的配合来夹持晶片，在对晶片的一侧镀膜完毕后，无需将晶片取出，只要将治具进行翻转与治具底板重新连接即可，方便快捷，大大提高了晶片的镀膜效率，减少了镀膜过程中晶片的损耗。此外，还解决了现有技术中翘曲的问题，以及翘曲导致的碎片问题。

技术领域

本发明属于光学镀膜技术领域，涉及一种镀膜治具，特别是一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具。

背景技术

目前行业普遍使用晶圆片镀膜，把晶圆片放在治具底板上，然后盖上治具盖板，当镀完一面翻面时，由于镀完单面的晶圆薄片翘曲非常严重。当需要将晶片取出翻面重新装夹具时进行另一侧的镀膜时，很容易导致晶片破碎，进而导致产品报废。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述技术问题，提出了一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具，通过治具上板和治具下板夹持晶片，在镀膜过程中无需将晶片取出即可实现晶片的翻面。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：

一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具，包括用来夹持晶片的治具；治具包含治具上板和治具下板，所述治具上板与所述治具下板可拆卸连接；所述治具下板开设有第一通孔，所述治具上板开设有与所述第一通孔相对应的第二通孔；治具底板，所述治具底板分别与所述治具上板和所述治具下板可拆卸连接。

进一步地，所述治具下板开设有第一通孔，第一通孔外侧环设有放置晶片的第一承载部和第一安装部，所述第一承载部与所述第一安装部构成阶梯状；所述治具上板开设有与所述第一通孔形状一致的第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相连通构成所述治具的通孔；所述治具上板设有与所述第一承载部相对应的第二承载部以及与所述第一安装部相配合的第二安装部，第二承载部与所述第一承载部相配合形成限制晶片移动的夹持区；所述第一安装部与所述第二安装部可拆卸连接。

进一步地，所述第一安装部上设有至少两个第一螺纹通孔；所述第二安装部上设有与所述第一螺纹通孔的位置及数量均相对应的第二螺纹通孔；所述治具底板上设有与所述第一螺纹通孔和所述第二螺纹通孔位置及数量均相对应的第三螺纹孔。

进一步地，所述第一螺纹通孔、所述第二螺纹通孔和所述第三螺纹通孔的数量均为6个且均匀周向分布。

进一步地，所述第一安装部上且与所述的第一承载部接壤处设有凹槽。

进一步地，所述凹槽为条形凹槽。

进一步地，相邻的所述第一螺纹通孔之间均设有一个所述条形凹槽。

进一步地，所述治具上板设有与所述凹槽相配合的凸块。

进一步地，所述第一安装部上开设有连通所述凹槽的排水槽。

进一步地，所述治具底板的中部开设有第三通孔。

本发明相比现有技术突出且有益的技术效果是：

1、本发明通过治具上板和治具下板的配合来夹持晶片，在对晶片的一侧镀膜完毕后，无需将晶片取出，只要将治具进行翻转与治具底板重新连接即可，解决了晶片单面镀膜时出现翘曲的问题，操作方便快捷，大大提高了晶片的镀膜效率，有效的防止了晶片翘曲导致的碎片问题，减少了镀膜过程中晶片的损耗。