[发明专利]基于太赫兹时域谱的无损检测方法及检测系统

说明书

本发明揭示了一种基于太赫兹时域谱的无损检测方法及检测系统，所述检测系统包括：太赫兹反射模块，用于提供太赫兹光束；传动模块，用于承载并移动待测产品；时域光谱系统，用于探测待测产品上反射的太赫兹脉冲信号的电场强度；数据处理模块，用于处理时域光谱系统探测的信息，并判断待测产品是否合格。本发明能够快速、高效、准确地对柔性打印电子产品进行无损检测，提高柔性打印电子产品的质量，适用于在线质量控制。

技术领域

本发明属于太赫兹检测技术领域，具体涉及一种基于太赫兹时域谱的无损检测方法及检测系统，可应用于柔性打印电子产品的检测。

背景技术

打印电子技术是电子制造业中的一项快速发展的技术，在这种技术中，活性材料通过接触或非接触印刷技术以印刷油墨的形式沉积在柔性基板上，这项技术能够在大面积柔性基板上以低成本生产出重量轻、坚固耐用的电子产品。随着导电油墨的发展，导电有机聚合物基电子器件的胶印具有多层性、印刷质量好、加工速度快、生产量大等优点。该项技术中的主要挑战包括流体不稳定性引起的油墨分布不均，以及后处理的影响。制造商必须跟踪印刷油墨电路的电子和物理特性的变化，如片电阻、介电常数、涂层重量和厚度等。

现有的对柔性打印电子产品的检测方式有传统的基于探针的电气检测，如涡流探针，该方法耗时长，且无法在打印的过程中实时调整。其他技术如原子力式显微镜、扫描电子显微镜和光学显微镜等成像技术由于检查面积小而且耗时，由于样品制备的高要求而昂贵，因此不适用于在线质量控制。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种基于太赫兹时域谱的无损检测方法及检测系统。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种基于太赫兹时域谱的无损检测方法及检测系统，以快速、高效、准确地对打印电子产品进行检测，提高打印电子产品的质量。

为了实现上述目的，本发明一实施例提供的技术方案如下：

一种基于太赫兹时域谱的无损检测方法，所述检测方法包括：

S1、通过太赫兹光束移动扫描待测产品；

S2、通过时域光谱系统探测待测产品上反射的太赫兹脉冲信号的电场强度；

S3、通过傅里叶变换得到太赫兹脉冲信号的光谱信息；

S4、获取待测产品的介电常数ε和电导率σ；

S5、根据待测产品的介电常数ε和电导率σ判断待测产品是否合格。

一实施例中，所述S3包括：

通过傅里叶变换得到太赫兹脉冲信号在太赫兹频域内的电场强度E(ω)和相位信息φ(ω)。

一实施例中，所述S4包括：

S41、获取待测产品的折射率n_s(ω)和消光系数n_s(ω)：

其中，c为真空中的光速，ω为太赫兹角频率；

S42、获取待测产品的介电常数ε和电导率σ：

σ＝2ωn_sk_s；

其中，n_s为折射率，k_s为消光系数。

一实施例中，所述S5具体为：

判断待测产品的介电常数ε和电导率σ是否在预设范围内，若是，则判定待测产品合格，若否，则判定待测产品不合格；和/或，