[发明专利]基于太赫兹时域谱的无损检测方法及检测系统

权利要求书

1.一种基于太赫兹时域谱的无损检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：

S1、通过太赫兹光束移动扫描待测产品；

S2、通过时域光谱系统探测待测产品上反射的太赫兹脉冲信号的电场强度；

S3、通过傅里叶变换得到太赫兹脉冲信号的光谱信息；

S4、获取待测产品的介电常数ε和电导率σ；

S5、根据待测产品的介电常数ε和电导率σ判断待测产品是否合格。

2.根据权利要求1所述的基于太赫兹时域谱的无损检测方法，其特征在于，所述S3包括：

通过傅里叶变换得到太赫兹脉冲信号在太赫兹频域内的电场强度E(ω)和相位信息φ(ω)。

3.根据权利要求2所述的基于太赫兹时域谱的无损检测方法，其特征在于，所述S4包括：

S41、获取待测产品的折射率n_s(ω)和消光系数n_s(ω)：

其中，c为真空中的光速，ω为太赫兹角频率；

S42、获取待测产品的介电常数ε和电导率σ：

σ＝2ωn_sk_s；

其中，n_s为折射率，k_s为消光系数。

4.根据权利要求1所述的基于太赫兹时域谱的无损检测方法，其特征在于，所述S5具体为：

判断待测产品的介电常数ε和电导率σ是否在预设范围内，若是，则判定待测产品合格，若否，则判定待测产品不合格；和/或，

根据待测产品的介电常数ε和电导率σ生成介电常数和电导率的变化映射图，根据变化映射图判断待测产品是否合格；和/或，

分别获取预设区域内介电常数ε和电导率σ的最小方差，判断最小方差是否在最小方差门限内，若是，则判定待测产品合格，若否，则判定待测产品不合格。

5.根据权利要求1所述的基于太赫兹时域谱的无损检测方法，其特征在于，所述待测产品包括柔性基板及沉积于柔性基板上的印刷油墨；和/或，所述待测产品为不同工艺阶段中的柔性打印电子产品。

6.一种基于太赫兹时域谱的无损检测方法，其特征在于，所述方法包括：

S1、通过太赫兹光束移动扫描待测产品；

S2、通过时域光谱系统探测待测产品上反射的太赫兹脉冲信号的电场强度；

S3、通过傅里叶变换得到太赫兹脉冲信号的光谱信息；

S4、根据光谱信息生成太赫兹反射信号强度的变化映射图；

S5、根据太赫兹反射信号强度的变化映射图判断待测产品是否合格。

7.根据权利要求6所述的基于太赫兹时域谱的无损检测方法，其特征在于，所述S5具体为：

获取太赫兹反射信号强度的变化映射图中的分布均匀程度，判断分布均匀程度是否在预设范围内，若是，则判定待测产品合格，若否，则判定待测产品不合格。

8.一种应用于权利要求1～7中任一项所述的基于太赫兹时域谱的无损检测方法的检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：

太赫兹反射模块，用于提供太赫兹光束；

传动模块，用于承载并移动待测产品；

时域光谱系统，用于探测待测产品上反射的太赫兹脉冲信号的电场强度；

数据处理模块，用于处理时域光谱系统探测的信息，并判断待测产品是否合格。

9.根据权利要求8所述的检测系统，其特征在于，所述传动模块包括：

导向板，所述导向板下方固定安装有若干支脚；

侧板，包括安装于导向板两侧的第一侧板和第二侧板；

滚筒及用于控制滚筒转动的驱动装置，所述滚筒设于第一侧板旁侧，且与第一侧板平行设置；

滚子，所述滚子设于第二侧板旁侧，且与第二侧板平行设置。

10.根据权利要求8所述的检测系统，其特征在于，所述传动模块包括：

底板；

支架及第一驱动装置，所述支架沿第一方向滑动安装于底板上，所述第一驱动装置用于驱动支架在第一方向上进行运动；

安装板及第二驱动装置，所述安装板沿第二方向滑动安装于支架上，所述第二驱动装置用于驱动安装板在第二方向上进行运动。