[发明专利]一种钨镍合金靶材的制备方法

权利要求书

1.一种钨镍合金靶材的制备方法，其特征在于：包括以下制备步骤：

步骤一、选取钨粉、镍粉以及其它金属粉末组成的多元合金粉末，作为钨镍合金靶材的原料，过筛处理，备用；

步骤二、将步骤一选取的合金粉末装入模具中，通过冷等静压制成粉质坯或粉质管坯；

步骤三、将粉质坯或粉质管坯装入烧结炉，在氢气或真空环境下，通过烧结获得致密度大于98%的烧结坯，备用；

步骤四、将烧结坯加热，加热温度为1000~1420℃，加热时间为60~90min，配合相应的锻造模具进行锻造，按照设计的锻造模具，分两次进行锻造加工，第一次将一部分长度的烧结坯外径尺寸锻造到目标尺寸要求的规格，然后回炉补偿加热60min~90min后，将剩余长度烧结坯的外径尺寸锻造到目标尺寸要求的规格，最终锻造断面收缩率为5~50%，制成锻造坯，备用；

步骤五、将步骤四的锻造坯进行退火处理，退火温度为800℃~1300℃，退火保温时间1~5h，然后冷却备用；

步骤六、将步骤五处理后的坯体机加工至目标要求尺寸，然后进行缺陷探伤和结晶扫描检测；

步骤七、对步骤六无损检验合格后的产品使用洁净水进行冲洗，干燥后真空包装，得成品。

2.根据权利要求1所述的一种钨镍合金靶材的制备方法，其特征在于：步骤一筛选的合金粉末粒径为160 ~500目。

3.根据权利要求1所述的一种钨镍合金靶材的制备方法，其特征在于：步骤一中的其它金属粉末包含但不限于Al、Ti、Cu、Co。

4.根据权利要求1所述的一种钨镍合金靶材的制备方法，其特征在于：步骤一中的多元合金粉末包括以下质量份数的各组分组成：钨粉10~90份，镍粉10~90份。

5.根据权利要求3所述的一种钨镍合金靶材的制备方法，其特征在于：步骤一中的多元合金粉末是由钨粉、镍粉与其它金属粉末中的任意一种及或多种粉末组成。

6.根据权利要求5所述的一种钨镍合金靶材的制备方法，其特征在于：按质量份数计算，多元合金粉末中钨粉10~90份，镍粉10~90份、其它金属粉末小于10份。

7.根据权利要求1所述的一种钨镍合金靶材的制备方法，其特征在于：步骤一中，多元合金粉末在混合前先采用过筛混合的方式进行初步混合，再将多元合金粉末置于真空搅拌机内进行均匀搅拌。

8.根据权利要求1所述的一种钨镍合金靶材的制备方法，其特征在于：步骤二中的模具为管型柔性模具，冷等静压的压制压力150~280MPa，保压时间10~30min。

9.根据权利要求1所述的一种钨镍合金靶材的制备方法，其特征在于：步骤三中烧结温度为800~1453℃，烧结时间为6~48h。

10.根据权利要求1所述的一种钨镍合金靶材的制备方法，其特征在于：步骤六中使用水浸式超声波C扫描，机加工后的管坯内部无平均直径大于0.3mm的气孔缺陷存在，结晶扫描底面波强度不小于80%，平均晶粒直径小于35um。