[发明专利]一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统在审
| 申请号： | 202110597783.6 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113393894A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 张嘉伟;陈俊辉;秦司晨;刘朝辉 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | G11C29/56 | 分类号： | G11C29/56 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 辐照 环境 存储器 伏安 特性 测试 系统 | ||
1.一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，包括能够供电的程控电源(1)，所述程控电源(1)连接微探针测试系统(2)、半导体参数分析仪(3)，所述微探针测试系统(2)和半导体参数分析仪(3)均连接测试金属探针导体(4)，所述测试金属探针导体(4)外部分套接多层绝缘结构(5)，两个所述测试金属探针导体(4)末端均连接在待测阻变存储器上。
2.根据权利要求1所述一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，所述多层绝缘结构(5)包括套接在测试金属探针导体(4)外的内环氧树脂绝缘层(501)，所述内环氧树脂绝缘层(501)外依次套接内金属铜屏蔽层(502)、外环氧树脂绝缘层(503)和外金属铜屏蔽层(504)，所述内金属铜屏蔽层(502)外壁接地。
3.根据权利要求2所述一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，所述测试金属探针导体(4)的材质为金属铜，所述金属铜外表面镀金膜。
4.根据权利要求2所述一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，所述内环氧树脂绝缘层(501)、外环氧树脂绝缘层(503)由环氧树脂绝缘经真空浸渍制备。
5.根据权利要求2所述一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，所述内金属铜屏蔽层(502)、外金属铜屏蔽层(504)是由金属铜经过磁控溅射制备。
6.根据权利要求1所述一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，所述微探针测试系统(2)包括支撑底座(201)，所述支撑底座(201)上通过支撑杆连接支撑平板(202)，所述支撑平板(202)上开设U型槽(203)，所述支撑底座(201)上位于U型槽(203)正下方固定连接升降台(204)，所述升降台(204)上固定连接测量卡盘(205)，所述支撑平板(202)上位于U型槽(203)两侧分别连接一个能够导电的探针固定装置(206)，其中一个所述探针固定装置(206)一端通过导线连接程控电源(1)，另一端连接测试金属探针导体(4)，另一个探针固定装置(206)一端通过导线连接半导体参数分析仪(3)，另一端连接另一个测试金属探针导体(4)。
7.根据权利要求6所述一种辐照环境下的阻变存储器伏安特性测试系统，其特征在于，所述支撑平板(202)上还连接高倍显微镜(207)，所述高倍显微镜(207)镜头正对测量卡盘(205)。
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