[发明专利]影像检测装置及芯片检测系统在审
申请号: | 202110595120.0 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN113310984A | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 林广满;陈林山;王建勇;范聚吉 | 申请(专利权)人: | 深圳市深科达半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01N21/01 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 刘艳 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 影像 检测 装置 芯片 系统 | ||
1.一种影像检测装置,用于检测待测件,所述待测件具有供其固定的第一表面以及与所述第一表面相邻设置的第二表面,其特征在于:包括拍摄组件、用于照亮所述待测件的光源、第一反射结构和第二反射结构,所述第一反射结构的反射表面相对所述拍摄组件的光轴倾斜设置,所述第二反射结构的反射表面相对所述第二表面的法线倾斜设置,且所述第一反射结构的反射表面和所述第二反射结构的反射表面正对设置,所述第二表面的图像依次经过所述第二反射结构和所述第一反射结构的反射,由所述拍摄组件拍摄成像。
2.如权利要求1所述的影像检测装置,其特征在于:所述第一反射结构的反射表面与所述拍摄组件的光轴呈45°设置,所述第二反射结构的反射表面与所述第二表面的法线呈45°设置。
3.如权利要求1所述的影像检测装置,其特征在于:所述光源和所述第二反射结构分别设于所述待测件的相对两侧。
4.如权利要求1所述的影像检测装置,其特征在于:所述第一反射结构为反射平面镜,所述第二反射结构为反射棱镜。
5.如权利要求1所述的影像检测装置,其特征在于:所述影像检测装置还包括安装座,所述拍摄组件包括相机、与所述相机同轴设置且连接于所述相机的镜头以及固定架,所述相机固定于所述固定架上,所述固定架可调节地设置于所述安装座上,以调节所述镜头组件和所述待测件之间的距离。
6.如权利要求5所述的影像检测装置,其特征在于:所述固定架和所述安装座通过螺纹件可拆卸连接,所述安装座上开设有多个第一连接孔,所述固定架上开设有第二连接孔,所述螺纹件穿过所述第二连接孔和其中一个所述第一连接孔设置。
7.如权利要求1所述的影像检测装置,其特征在于:所述影像检测装置还包括镜架,所述镜架的底壁开设有限位底槽,所述镜架的两个相对设置的内壁开设有限位斜槽,所述第一反射结构的一侧设置于所述限位底槽,所述第二反射结构的另外两侧分别设置于两个所述限位斜槽。
8.如权利要求1所述的影像检测装置,其特征在于:所述光源为面光源,且所述第二表面与所述面光源平行设置。
9.芯片检测系统,用于检测芯片的极性,其特征在于:包括权利要求1-8任一项所述的影像检测装置。
10.如权利要求9所述的芯片检测系统,其特征在于:还包括用于吸附所述芯片的吸附结构。
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