[发明专利]一种光学镜片热容镀膜装置、方法及光学镜片有效
申请号: | 202110595075.9 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN113373410B | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
发明(设计)人: | 邵崇峰;薄勇;郭亚丁;彭钦军;寇洋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/50;C23C16/458;C23C16/46;G02B1/10 |
代理公司: | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人: | 王喆 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光学镜片 热容 镀膜 装置 方法 | ||
本发明公开了一种光学镜片热容镀膜装置、方法和光学镜片。该装置包括:基座(1),一侧用于与光学镜片非镀膜的表面粘接,另一侧用于与蓄冷装置(2)固定;蓄冷装置(2),用于释放冷量,为所述光学镜片非镀膜的表面降温;防辐射挡板(3),设置有用于供与所述光学镜片粘接的所述基座(1)的一侧穿过的孔(31)。本发明实施例提供的光学镜片热容镀膜装置,通过设置防辐射隔离板,防止光学镜片镀膜面之外的结构被加热,而且非镀膜面的热量可以通过基座传导到蓄冷装置,通过蓄冷装置为非镀膜面降温,可以在温度高于200摄氏度下进行镀膜时,粘接剂也不会因为高温失效,从而使得得到质量好,可靠性强的光学镜片镀膜。
技术领域
本发明涉及光学镜片领域、镀膜领域,尤其涉及一种光学镜片热容镀膜装置、方法及光学镜片。
背景技术
光学系统中,为了保证光学镜片满足设计要求,对镜片镀膜是必不可少的工艺。镀膜是指通过化学或者物理手段在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。
传统镀膜方式包括如下两种:
(1)先对光学镜片镀膜,然后将镀膜后的光学镜片粘接到相应的光学器件中,但是由于粘接的过程中粘接剂的收缩会对光学镜片的面形造成影响,从而导致安装后的光学镜片的形状不满足设计的光学镜片的形状,对光学系统造成影响。
(2)先将光学镜片粘接到光学器件中,然后在对光学镜片镀膜,这种方式可以避免由于粘接导致光学镜片的变形。但是,由于镀膜过程中,光学镜片表面的温度会升高,一旦温度过高就会导致粘接剂失效,导致光学镜片与光学器件分离,所以这种方式需要严格控制镀膜过程的温度低于粘接剂的失效温度,通常需控制镀膜过程的温度不能超过100摄氏度(低温镀膜工艺)。但是,对于光学镜片来讲,如果镀膜过程温度低于200摄氏度,镀膜材料的粒子与光学镜片的结合力就会较差,镀出来的膜性能就有所下降,所以这种方式形成的镜片难以用在高精度的光学器件上。此外,通常控制镀膜过程的温度例如是在光学镜片表面温度上升达到预设的温度(例如为70摄氏度)时,暂停镀膜,等待光学镜片表面温度在自然条件下恢复至室温后,再继续镀膜,整个镀膜过程需要花费2-3天,镀膜的效率也比较低。
发明内容
(一)发明目的
本发明的目的是提供一种光学镜片热容镀膜装置、方法和光学镜片,本发明实施例提供的光学镜片热容镀膜装置,通过设置防辐射隔离板,防止光学镜片镀膜面之外的结构被加热,而且非镀膜面的热量可以通过基座传导到蓄冷装置,通过蓄冷装置为非镀膜面降温,可以在温度高于200摄氏度下进行镀膜时,粘接剂也不会因为高温失效,从而使得得到的光学镜片的质量好,可靠性强。
(二)技术方案
根据本发明的第一方面,提供了一种光学镜片热容镀膜装置,包括:基座,一侧用于与光学镜片非镀膜的表面粘接;蓄冷装置,与所述基座的另一侧固定,用于释放冷量,为所述光学镜片非镀膜的表面降温;防辐射挡板,设置在所述基座和所述光学镜片之间;所述防辐射挡板设置有用于供与所述光学镜片粘接的所述基座的一测透过的孔,且所述防辐射挡板的一面用于与所述光学镜片接触。
可选的,基座的一侧形成有多个间隔设置的多个凸起部,每个所述凸起部用于与所述光学镜片非镀膜的表面粘接。
可选的,所述凸起部与所述光学镜片粘接的表面为平面。
可选的,凸起部为梯形台结构,其中,所述梯形台结构中,相互平行的且面积小的一面用于与所述光学镜片粘接。
可选的,所述防辐射挡板的面积大于所述光学镜片投影到所述防辐射挡板上的面积。
可选的,还包括:均热板,所述均热板的一面用于与所述基座固定,另一面用于与所述蓄冷装置固定。
可选的,蓄冷装置包括:壳体和设置在所述壳体内的蓄冷材料。
可选的,光学镜片的径厚比超过20。
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