[发明专利]一种在显微镜中原位变形微纳样品的减震装置及方法

权利要求书

1.一种在显微镜中原位变形微纳样品的减震装置，其特征在于，包括支撑部(1)、动力部(2)、减震部(3)和载网(4)；所述支撑部(1)包括支撑环，所述支撑环内侧固定有支撑平台；所述动力部(2)包括两片双金属片，两所述双金属片垂直对称固定在所述支撑平台上，所述双金属片末端为自由端；所述双金属片由热膨胀系数不同的两组金属片通过焊压贴合在一起形成；两所述双金属片外侧相对的两金属片的热膨胀系数小于内侧相对的两金属片的热膨胀系数；所述减震部(3)设置在两所述双金属片之间，所述减震部(3)包括两平行对称设置的高阻尼金属板，两所述高阻尼金属板的一端分别与两所述双金属片的自由端固定，两所述高阻尼金属板的另一端均固定有所述载网(4)，两所述载网(4)之间设置有间隙。

2.根据权利要求1所述的在显微镜中原位变形微纳样品的减震装置，其特征在于，所述载网(4)为具有延展性、带孔的金属网。

3.根据权利要求1所述的在显微镜中原位变形微纳样品的减震装置，其特征在于，所述载网(4)通过聚焦离子束Pt-碳气体沉积固定在所述高阻尼金属板上。

4.根据权利要求1所述的在显微镜中原位变形微纳样品的减震装置，其特征在于，所述支撑环为外径3mm、内径为2mm的金属环，厚度在30μm～60μm之间；所述双金属片长度为1mm～1.2mm，两所述双金属片之间的间距为150μm～300μm；所述高阻尼金属板的长度为200μm，宽度为200μm，厚度为50μm，两所述高阻尼金属板之间的间距为50μm～100μm；所述载网(4)长度为100μm，宽度为80μm，孔径为4μm，两所述载网(4)之间的间距为5μm～10μm。

5.根据权利要求1所述的在显微镜中原位变形微纳样品的减震装置，其特征在于，所述支撑环的材质为铜或钼，所述双金属片的两金属片分别为锰和钛，所述高阻尼金属板的材质为灰铸铁，所述载网(4)的材质为铝或铜。

6.一种在显微镜中原位变形微纳样品的拉伸方法，采用权利要求1～5任一所述的在显微镜中原位变形微纳样品的减震装置，其特征在于，包括以下步骤：

S1、利用聚焦离子束技术将载网(4)中部切开，控制两部分载网(4)的间距为5μm～10μm；

S2、将小尺寸微纳材料(5)转移到显微镜中原位变形微纳样品的减震装置的载网(4)上，在室温中充分干燥，并将微纳材料(5)的两端用Pt-碳气体沉积使其固定在载网(4)上；

S3、使用纳米减薄仪对小尺寸微纳材料(5)减薄至17-23纳米，并去除表面非晶层；

S4、将搭载小尺寸微纳材料(5)的显微镜中原位变形微纳样品的减震装置放入透射电镜中的加热样品杆上，控制加热台，加热使双金属片受热分别向两边弯曲，从而拉伸载网(4)，并带动小尺寸微纳材料(5)变形。