[发明专利]气相沉积设备和气相沉积方法

说明书

本公开涉及气相沉积设备和气相沉积方法。所述气相沉积设备包括：载体，在所述载体上安置有基底；沉积腔室，在所述沉积腔室中执行用于将沉积材料沉积到所述基底的沉积工艺；第二腔室，在所述第二腔室中搬运所述载体，在所述载体上安置有完成了所述沉积工艺的所述基底；以及第一腔室，包括机械臂，所述机械臂在真空状态下将完成了所述沉积工艺的所述基底与所述载体分离开以从所述第二腔室传送到所述第一腔室，其中，所述第二腔室始终保持真空状态。

技术领域

本发明的实施例涉及气相沉积设备和气相沉积方法。

背景技术

有机发光二极管显示器使用有机发光二极管显示图像，有机发光二极管通过电子与空穴的复合产生光。有机发光二极管显示器具有自发光特性，并且与液晶显示器不同，有机发光二极管显示器不需要单独的光源，因此可以减小厚度和重量。另外，有机发光二极管显示器表现出诸如低功耗、高亮度和高反应速度的高质量特性。

可以通过在基底上沉积诸如有机材料和氧化物的沉积材料以形成多个薄膜层来制造薄的有机发光二极管显示器。

用于在基底上沉积沉积材料的气相沉积设备将基底放置在载体上，并且在将载体带入到真空腔室中之后移动载体的同时执行沉积工艺。已经执行了沉积工艺的基底在大气压状态下与载体一起被搬出到外部，并且与载体分离开。另一基底放置在与已经进行了沉积工艺的基底分离开的载体上，并且然后被带回到真空腔室中，并且执行基底的沉积工艺。

搬运基底的载体继续使各部分在真空状态和大气压状态之间转变。可能发生在大气压状态下水分被吸附在载体上的现象。随着移动的数量的增加，吸附在载体的外部上的水分的量会不断地积累。积累在载体的外部上的水分在沉积工艺期间可能被等离子体分解成氧离子和氢离子，并且可能与沉积材料一起被沉积。这些现象可能导致不良的沉积以及沉积材料的特性变化。

在制造有机发光二极管显示器的工艺中，诸如氧化铟镓锌(IGZO)和氧化铟锡(ITO)的氧化物会沉积在基底上以形成半导体层或导电层。在诸如IGZO和ITO的氧化物的情况下，吸附在载体上的H₂O可能在真空状态下重新进入并且在执行沉积工艺的同时被等离子体分解成H⁺、OH^-和O^2-，并且然后与IGZO或ITO一起沉积。此时，由于氧离子通过离子键与氧化物结合，因此氧空位降低，从而增加了电阻。因此，有机发光二极管显示器的功能可能劣化。

在本背景技术部分中公开的以上信息仅用于增强对本发明的背景的理解，并且因此，以上信息可能包含不形成在本国中对于本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于提供防止水分吸附在载体上的气相沉积设备和气相沉积方法。

一种根据本发明的示例性实施例的气相沉积设备，包括：载体，在所述载体上安置有基底；沉积腔室，在所述沉积腔室中执行用于将沉积材料沉积到所述基底的沉积工艺；第二腔室，在所述第二腔室中搬运所述载体，在所述载体上安置有完成了所述沉积工艺的所述基底；以及第一腔室，包括机械臂，所述机械臂在真空状态下将完成了所述沉积工艺的所述基底与所述载体分离开以从所述第二腔室传送到所述第一腔室，其中，所述第二腔室始终保持真空状态。

所述气相沉积设备还可以包括：旋转腔室，处于真空状态，所述旋转腔室设置在所述沉积腔室与所述第二腔室之间，并且将所述载体插入到所述沉积腔室；第一连接部分，设置在所述旋转腔室与所述第二腔室之间，用于所述旋转腔室与所述第二腔室的打开/关闭；以及第二连接部分，设置在所述第一腔室与所述第二腔室之间，用于所述旋转腔室与所述第二腔室的打开/关闭。

所述第一腔室的内部可以变为真空状态或大气压状态，并且所述第二连接部分可以在所述第一腔室和所述第二腔室处于真空状态时被打开。

所述载体可以始终暴露于真空状态。