[发明专利]一种用于晶圆打磨的装置

权利要求书

1.一种用于晶圆打磨的装置，其特征在于，包括：独立安装的打磨机构（100）以及驱动机构（300）；

打磨机构（100）包括竖直设置的矩形框（110），矩形框（110）底部向上转动设有下传动轴（120），下传动轴（120）的顶部设有的支撑圆盘（130），下传动轴（120）带动支撑圆盘（130）一同旋转，矩形框（110）顶部向下转动穿设有上传动轴（140），上传动轴（140）下段沿轴线方向滑动设有压紧圆盘（150），上传动轴（140）带动压紧圆盘（150）一同旋转，压紧圆盘（150）转动设有连接盘（160），上传动轴（140）穿过连接盘（160），上传动轴（140）与连接盘（160）之间具有间隙，矩形框（110）顶部向下设有一对伸缩气缸（170），伸缩气缸（170）的推杆与连接盘（160）相连，伸缩气缸（170）的推杆与上传动轴（140）平行；

压紧圆盘（150）顶部同轴设有连接圆管（151），连接圆管（151）上段加工有花键孔（1511），上传动轴（140）下段为花键轴（141），压紧圆盘（150）与上传动轴（140）之间通过花键孔（1511）与花键轴（141）实现滑动配合；

连接圆管（151）上段外周连接有轴承（220），轴承（220）外圈安装于连接盘（160）底部，轴承（220）采用深沟球轴承；

矩形框（110）中段设有支撑环（111），支撑环（111）呈环形结构，并且与上传动轴（140）同轴，支撑环（111）的内壁与连接圆管（151）之间具有间隙，压紧圆盘（150）位于支撑环（111）下方，连接盘（160）位于支撑环（111）上方，支撑环（111）圆周均匀穿设有至少三颗限位螺钉（230），限位螺钉（230）的轴线延长线与连接圆管（151）的轴线垂直相交，限位螺钉（230）前端设有滚动的钢珠（231），钢珠（231）与连接圆管（151）的外壁滚动接触；

矩形框（110）两侧均设有打磨轮组（180），打磨轮组（180）的旋转轴线与下传动轴（120）平行，打磨轮组（180）包括下打磨片（181）和上打磨片（182），分别用于打磨晶圆的上表面和下表面的边沿，下打磨片（181）和上打磨片（182）之间的间距可调，下打磨片（181）和上打磨片（182）沿打磨轮组（180）旋转线轴方向的位置可调，打磨轮组（180）与下传动轴（120）之间的间距可调；

打磨轮组（180）还包括连接轴（183），连接轴（183）上段为矩形杆，下打磨片（181）与上打磨片（182）均滑动套设与矩形杆，下打磨片（181）与上打磨片（182）均穿设有锁紧螺钉（184）用于将下打磨片（181）与上打磨片（182）压紧于连接轴（183），连接轴（183）底部连接于一电机的主轴，连接轴（183）的旋转方向与支撑圆盘（130）的旋转方向相反；

驱动机构（300）包括转动轴（310）以及与转动轴（310）相连的驱动电机，转动轴（310）与下传动轴（120）以及上传动轴（140） 平行，转动轴（310）与下传动轴（120）之间采用同步带传动，转动轴（310）与上传动轴（140）之间采用同步带传动。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆打磨的装置，其特征在于，打磨轮组（180）设于滑动杆（190），滑动杆（190）截面为矩形结构，滑动杆（190）滑动穿过矩形框（110）的侧壁，滑动杆（190）的滑动垂直于下传动轴（120）的轴线，滑动杆（190）沿滑动方向配合设有丝杆（210），丝杆（210）转动设于矩形框（110）外侧，丝杆（210）的轴线延长线与下传动轴（120）的轴线垂直相交，丝杆（210）采用电机控制。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆打磨的装置，其特征在于，滑动杆（190）位于矩形框（110）外侧的一端设有限位块（191），限位块（191）始终处于矩形框（110）外侧。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆打磨的装置，其特征在于，支撑圆盘（130）底部与下传动轴（120）的上段之间采用花键连接，以便于拆卸更换支撑圆盘（130），下传动轴（120）的顶部与支撑圆盘（130）的底部之间通过圆锥配合。