[发明专利]晶圆测试数据的分析方法、平台、电子设备及存储介质

权利要求书

1.一种晶圆测试数据的分析方法，用于获取并分析晶圆测试数据，其特征在于，方法包括以下步骤：

S1、获取多个批次的晶圆测试数据；

S2、根据目录分类信息区分晶圆测试数据，记录区分后的晶圆测试数据存储路径，并进行目录分类归档；晶圆测试数据区分归档至对应目录后，同一目录下的晶圆测试数据具有相同的特定目录分类信息内容，具体区分方法可按需限定目录分类信息的内容进行区分；目录分类信息包括项目编号、程序名称、供应商名称、生产批号、片号、测试时间中的一个或多个；

S3、根据目标目录分类信息，从目录中索引相应晶圆测试数据的数据路径，提取晶圆测试数据，并按照目标参数将晶圆测试数据合并成目标数据集；目标参数为产品型号、片号、生产程序名称、良品数、异常BIN数据、测试时间中的一个或多个；

S4、对目标数据集，进行视图构建及视图分析，和/或进行数据统计分析。

2.根据权利要求1的晶圆测试数据的分析方法，其特征在于，步骤S1中，晶圆测试数据获取自单个或多个供应商提供的FTP数据，FTP数据包括一个以上项目数据，项目数据包括一个批次以上的晶圆测试数据。

3.根据权利要求1的晶圆测试数据的分析方法，其特征在于，步骤S2，在根据目录分类信息区分晶圆测试数据后，删除重复的晶圆测试数据。

4.根据权利要求1的晶圆测试数据的分析方法，其特征在于，步骤S4中，当对目标数据集进行视图构建及视图分析时，根据时序或结合时序与生产程序将目标数据集中晶圆测试数据构建图表，用于分析晶圆良率或批次良率或异常项信息。

5.根据权利要求1的晶圆测试数据的分析方法，其特征在于，步骤S4中，当对目标数据集进行数据统计分析时，根据单一变量将数据集中晶圆测试数据合并排序，进行比对分析。

6.一种晶圆测试数据的分析平台，用于获取并分析晶圆测试数据，其特征在于，平台包括：

目录模块，用于获取多个批次的晶圆测试数据，并根据目录分类信息，区分晶圆测试数据，并记录区分后的晶圆测试数据存储路径，并进行目录分类归档；晶圆测试数据区分归档至对应目录后，同一目录下的晶圆测试数据具有相同的特定目录分类信息内容，具体区分方法可按需限定目录分类信息的内容进行区分；目录分类信息包括项目编号、程序名称、供应商名称、生产批号、片号、测试时间中的一个或多个；

数据整合模块，用于根据目标目录分类信息，从目录中索引相应晶圆测试数据的数据路径提取晶圆测试数据，并按照目标参数将晶圆测试数据合并成目标数据集；目标参数为产品型号、片号、生产程序名称、良品数、异常BIN数据、测试时间中的一个或多个；

分析模块，包括可基于目标数据集进行视图构建及视图分析的视图分析模块，和/或可基于目标数据集进行数据统计分析的工程分析模块。

7.一种电子设备，其特征在于，包括处理器以及存储器，存储器存储有计算机可读取指令，当计算机可读取指令由处理器执行时，运行如权利要求1-5任一方法中的步骤。

8.一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，计算机程序被处理器执行时运行如权利要求1-5任一方法中的步骤。