[发明专利]VI源供电控制方法、装置、半导体测试机及存储介质

说明书

本申请涉及一种VI源供电控制方法、装置、半导体测试机及存储介质，该VI源供电控制方法包括：在控制单元启动后，获取低压供电电源在预设低压上电阶段内的第一供电信息；根据第一供电信息，判断低压供电电源在预设低压上电阶段内是否正常上电；在判断到低压供电电源在预设低压上电阶段内正常上电的情况下，初始化高压VI线路，并控制高压供电电源为完成初始化的高压VI线路供电；检测高压VI线路在预设高压上电阶段内的线路状态信息，并根据线路状态信息确定VI源供电结果。通过本申请，解决半导体测试机上电启动电流大、高低压电源同时启动损坏线路器件的问题，实现了分阶段上电、控制上电电流，保护器件及信号链路不受损坏的有益效果。

技术领域

本申请涉及电源管理技术领域，特别是涉及VI源供电控制方法、装置、半导体测试机及存储介质。

背景技术

高压VI源主要应用在各类半导体测试设备中，一般是指输出电压能力200V以上的电压电流源。高压VI源应用于200V以上的分立器件的耐压以及漏电测试，还可以应用于集成了分立器件的集成电路芯片测试。

由于高压VI源带有高压，高压VI源的高压供电电源与低压供电电源同时上电，在高压供电电源与低压供电电源同时上电时，上电启动电流大，容易引起相关测试设备的总线电源故障；同时，高压供电电源与低压供电电源同时上电，高压VI源对应的反馈系统在上电时没有完整建立，相关测试设备的高压信号线路初始状态不稳定，易造成损坏高压信号线路和线路器件。

目前，针对相关技术中半导体测试机上电启动电流大、高低压电源同时启动而造成线路器件损坏的问题，尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本申请实施例提供了一种VI源供电控制方法、装置、半导体测试机及存储介质，以至少解决相关技术中半导体测试机上电启动电流大、高低压电源同时启动而造成线路器件损坏的问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种VI源供电控制方法，应用于半导体测试机的控制单元，包括：

在所述控制单元启动后，获取低压供电电源在预设低压上电阶段内的第一供电信息，其中，所述第一供电信息用于表征所述低压供电电源在所述预设低压上电阶段内的上电状态；

根据所述第一供电信息，判断所述低压供电电源在所述预设低压上电阶段内是否正常上电；

在判断到所述低压供电电源在所述预设低压上电阶段内正常上电的情况下，初始化高压VI线路，并控制高压供电电源为完成初始化的所述高压VI线路供电；

检测所述高压VI线路在预设高压上电阶段内的线路状态信息，并根据所述线路状态信息确定VI源供电结果。

在其中一些实施例中，所述低压供电电源包括第一低压电源和第二低压电源，所述第一低压电源电连接所述控制单元，根据所述第一供电信息，判断所述低压供电电源在所述预设低压供电阶段内是否正常上电包括：

检测所述第一低压电源的供电状态，并根据所述第一低压电源的供电状态启停所述第二低压电源上电；

在所述第二低压电源启动上电后，检测所述第二低压电源的供电状态，并判断所述第二低压电源的供电状态是否包括第二预设供电状态，其中，所述第二预设供电状态包括所述第二低压电源按预设电压和预设电流进行供电；

在判断到所述第二低压电源的供电状态包括所述预设供电状态的情况下，确定所述低压供电电源在所述预设低压供电阶段内正常上电。

在其中一些实施例中，检测所述第一低压电源的供电状态，并根据所述第一低压电源的供电状态启停所述第二低压电源上电包括：

检测所述第一低压电源的供电状态对应的第一电压和第一电流；

分别判断所述第一电压和所述第一电流是否不大于对应的第一预设阈值；