[发明专利]一种旋转靶材的清洗包装方法

说明书

本发明提供一种旋转靶材的清洗包装方法，所述清洗包装方法包括：采用净化布清洗旋转靶材的内壁；依次采用纳米海绵和净化布清洗旋转靶材的表面；采用膜贴附于旋转靶材的表面，并放置于包装袋中；采用惰性气体置换包装袋中的空气，所述清洗方法成本低，对人体和环境的危害小，清洗包装后旋转靶材洁净度合格，延长了旋转靶材的使用寿命。

技术领域

本发明涉及旋转靶材清洗技术领域，尤其涉及一种旋转靶材的清洗包装方法。

背景技术

旋转靶材是圆筒型的磁控靶材，在旋转靶材里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。磁控溅射是一种利用带电粒子轰击靶材，使靶材原子从表面逸出并均匀沉积在衬底上的基片镀膜工艺。

钛旋转靶材经过粗加工，镗孔，抛光，喷砂，表面会留下油渍，切削液，粉尘，由于高纯铜旋转靶材需要在超净间环境使用，对此有着较高的洁净度要求。现有的靶材清洗包装方法多是清洗机(超声波振动)，清洗机清洗靶材洁净度达标，但是对成本浪费，而且使用的清洗液也不相同，现多数使用二甲苯作为清洗液。现有技术成本高，需要大量清洗液，且使用的清洗液对空气和人有危害。

CN112192327A公开了一种旋转靶材的清洗装置及方法，其包括机架、安装机构、打磨喷涂机构以及控制装置；安装机构包括旋转驱动装置和用于定位衬管的位置的定位组件，旋转驱动装置和定位组件均安装在机架上，旋转驱动装置能够驱动定位组件转动，以带动衬管在机架上转动；打磨喷涂机构包括行走驱动装置、第一移动块、压力装置、喷液装置、打磨件和抛光件，行走驱动装置安装在机架上，行走驱动装置与第一移动块连接，行走驱动装置能驱动第一移动块在机架上移动，压力装置和喷液装置均安装在第一移动块上，打磨件和抛光件均连接在压力装置上，但该清洗方法操作复杂。

CN112267099A公开了一种靶材表面的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：将靶材表面进行流水清洗并擦拭，然后依次进行超声振动清洗、喷射清洗和吹扫干燥，得到清洗完成的靶材，但该清洗方法技术成本高。

CN109930162A公开了一种回收溅射靶材的清洗方法，所述方法包括使用磨床将旧的溅射铝靶材面板和背板进行分离；将分离出的溅射铝靶材面板置于酸溶液的容器中，所述酸溶液的质量浓度为10～75％；溶解结束后，取出溅射铝靶材面板，再浸入氢氧化钠溶液，对靶材表面酸溶液进去中和处理；所述氢氧化钠溶液的质量浓度为10～20％；酸碱中和完成后，取出溅射铝靶材面板浸入纯水中；从纯水中取出，肉眼观察是否有残存附着物；附着物没有的情况下在温室内进行干燥，最终可获取干净的铝靶材，但该清洗方法技术成本高，需要大量清洗液。

因此，有必要开发一种操作简单，成本低，对人和空气危害小，清洗效果好的靶材清洗方法。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种旋转靶材的清洗包装方法，所述清洗包装方法通过净化布和纳米海绵相配合进行清洗，随后贴附膜，放置于包装袋中以惰性气体置换空气，所述清洗方法成本低，对人体和环境的危害小，清洗包装后旋转靶材洁净度合格，延长了旋转靶材的使用寿命。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供一种旋转靶材的清洗包装方法，所述清洗包装方法包括以下步骤：

(1)采用净化布清洗旋转靶材的内壁；

(2)依次采用纳米海绵和净化布清洗旋转靶材的表面；

(3)采用膜贴附于旋转靶材的表面，并放置于包装袋中；

(4)采用惰性气体置换包装袋中的空气，得到清洗包装好的旋转靶材。

本发明采用净化布去清洗旋转靶材的内壁，依次采用纳米海绵和净化布清洗旋转靶材的表面，通过净化布和纳米海绵相互配合的方式擦洗旋转靶材不同部分，随后贴附膜，放置于包装袋中以惰性气体置换空气，能够防止旋转靶材被氧化，进一步保证清洗包装后旋转靶材洁净度合格。