[发明专利]一种旋转靶材的清洗包装方法在审
| 申请号： | 202110564460.7 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113291553A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;赵丽;张光辉 | 申请（专利权）人： | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B65B55/24 | 分类号： | B65B55/24;B65B31/02;C23G5/032 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 516001 广东省惠州市惠州仲恺高新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 清洗 包装 方法 | ||
1.一种旋转靶材的清洗包装方法，其特征在于，所述清洗包装方法包括以下步骤：
(1)采用净化布清洗旋转靶材的内壁；
(2)依次采用纳米海绵和净化布清洗旋转靶材的表面；
(3)采用膜贴附于旋转靶材的表面，并放置于包装袋中；
(4)采用惰性气体置换包装袋中的空气，得到清洗包装好的旋转靶材。
2.根据权利要求1所述的清洗包装方法，其特征在于，所述旋转靶材的形状包括圆筒状。
3.根据权利要求1或2所述的清洗包装方法，其特征在于，所述旋转靶材的材质包括钛；
优选地，所述旋转靶材中钛的纯度≥99.9wt％。
4.根据权利要求1～3任一项所述的清洗包装方法，其特征在于，步骤(1)所述净化布浸渍有异丙醇。
5.根据权利要求1～4任一项所述的清洗包装方法，其特征在于，步骤(2)所述纳米海绵的材质包括三聚氰胺。
6.根据权利要求1～5任一项所述的清洗包装方法，其特征在于，步骤(2)所述纳米海绵浸渍有异丙醇。
7.根据权利要求1～6任一项所述的清洗包装方法，其特征在于，步骤(2)所述净化布浸渍有异丙醇。
8.根据权利要求1～7任一项所述的清洗包装方法，其特征在于，步骤(3)所述膜包括聚酰胺和聚乙烯的复合膜。
9.根据权利要求1～8任一项所述的清洗包装方法，其特征在于，步骤(4)所述惰性气体包括氩气。
10.根据权利要求1～9任一项所述的清洗包装方法，其特征在于，所述清洗包装方法包括以下步骤：
(1)采用浸渍有异丙醇的净化布，配合采用圆柱体治具清洗旋转靶材的内壁，其中旋转靶材包括圆筒状、钛的纯度≥99.9wt％的钛旋转靶材；
(2)依次采用浸渍有异丙醇的纳米海绵和浸渍有异丙醇的净化布清洗旋转靶材的表面；
(3)采用聚酰胺和聚乙烯的复合膜贴附于旋转靶材的表面，并放置于包装袋中；
(4)采用惰性气体置换包装袋中的空气，得到清洗包装好的旋转靶材。
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