[发明专利]一种晶圆加工用的均流腔环

权利要求书

1.一种晶圆加工用的均流腔环，包括环体(1)，其特征在于：晶圆放置在所述环体(1)的内腔内，所述环体(1)的一端端面开设有凹槽(2)，所述环体(1)的端面上盖设有用于封堵凹槽(2)的第一板(3)，所述第一板(3)的外壁上贯穿开设有用于将外界气流通入凹槽(2)内腔内的进气口(4)，所述凹槽(2)的内腔内设置有若干个用于增加晶圆表面空气流速的上出气管(5)，若干个所述上出气管(5)绕着环体(1)的轴向呈圆形分布，所述上出气管(5)一端位于凹槽(2)的内腔内，另一端位于环体(1)的内腔内，所述凹槽(2)的内腔内设置有若干个用于增强晶圆底面流速的下出气管(6)，所述上出气管(5)绕着环体(1)的轴向呈圆形分布，所述下出气管(6)一端位于凹槽(2)的内腔内，另一端位于环体(1)的内腔内，晶圆位于上出气管(5)与下出气管(6)之间，所述上出气管(5)与下出气管(6)伸出凹槽(2)内腔外的一端均固定有三通管(7)，所述三通管(7)的出气端均呈缩口设置，所述凹槽(2)的内腔内转动设置有第二板(8)，所述第二板(8)两侧的内腔呈连通设置，所述第二板(8)上设置有用于驱使上出气管(5)与下出气管(6)同步转动的动力组件(9)，所述动力组件(9)包括同轴固定在上出气管(5)外壁上的第一齿轮(10)、同轴固定在下出气管(6)外壁上的第二齿轮(11)、同轴固定在第二板(8)两侧上的端面齿轮(12)、倾斜设置在第二板(8)朝向第一板(3)一侧的风板(13)，所述第一齿轮(10)与第二板(8)朝向第一板(3)一侧的端面齿轮(12)啮合，所述第二齿轮(11)与第二板(8)背离第一板(3)一侧的端面齿轮(12)啮合，所述进气口(4)的气流流向与风板(13)的倾斜方向呈平行设置。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用的均流腔环，其特征在于：所述凹槽(2)的内壁上开设有限位槽(14)，所述限位槽(14)内转动设置有滚珠(15)，所述第二板(8)伸入限位槽(14)内的一侧与滚珠(15)接触。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用的均流腔环，其特征在于：所述第二板(8)与第一板(3)之间设置有第三板(16)，所述第三板(16)上贯穿开设有第一孔(17)，所述第三板(16)朝向第一板(3)一侧放置有第四板(18)，所述第四板(18)上贯穿开设有第二孔(19)，所述第一孔(17)与第二孔(19)均为斜孔，所述凹槽(2)内设置有用于限制第四板(18)在第三板(16)上滑动的抵接组件(20)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆加工用的均流腔环，其特征在于：所述抵接组件(20)包括固定在凹槽(2)内壁上的安装块(21)、滑移在安装块(21)上的抵接杆(22)、固定在抵接杆(22)下端的抵接块(23)、套设在抵接杆(22)外壁上的弹簧(24)，所述弹簧(24)一端抵接在安装块(21)上，另一端抵接在抵接块(23)上。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆加工用的均流腔环，其特征在于：所述第四板(18)朝向第一板(3)一侧固定有若干个定位块(25)，所述抵接块(23)侧壁上开设有用于嵌设定位块(25)的定位槽(26)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用的均流腔环，其特征在于：所述环体(1)的外壁上间隔均匀的固定有若干个加强块(27)，所述加强块(27)的侧壁上贯穿开设有用于固定安装整个环体(1)的安装孔(28)，所述环体(1)的内腔侧壁上间隔均匀的开设有若干个用于释放应力的工艺槽(29)。