[发明专利]一种自插层钒基二维纳米片及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 202110559391.0 申请日: 2021-05-21
公开(公告)号: CN113353980A 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 王振兴;姚雨雨;何军 申请(专利权)人: 国家纳米科学中心
主分类号: C01G31/00 分类号: C01G31/00;H01L29/24;B82Y40/00
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 盛大文
地址: 100190 北*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 插层钒基 二维 纳米 及其 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种自插层钒基二维纳米片的制备方法,其特征在于,包括:以五氧化二钒、硫粉和硒粉为原料,进行化学气相沉积反应,制备所述自插层钒基十五硫硒化八钒纳米片;所述五氧化二钒、所述硫粉和所述硒粉的质量比为1:9:3~9。

2.根据权利要求1所述的自插层钒基二维纳米片的制备方法,其特征在于,所述五氧化二钒、所述硫粉和所述硒粉的质量比为1:9:3。

3.根据权利要求1或2所述的自插层钒基二维纳米片的制备方法,其特征在于,包括:将所述硫粉和所述硒粉置于双温反应区的上游,将所述五氧化二钒置于所述双温反应区的下游,然后加热,进行化学气相沉积反应。

4.根据权利要求3所述的自插层钒基二维纳米片的制备方法,其特征在于,所述下游的加热温度为600~700℃,优选为640~670℃;优选的,所述上游的加热温度为170~300℃,优选为240~260℃;更优选的,所述反应的时间为20~45min,优选为30min。

5.根据权利要求1~4任一项所述的自插层钒基二维纳米片的制备方法,其特征在于,反应过程中通入氩气和氢气;优选的,所述氩气的流量为80~120sccm,优选为100sccm;所述氢气的流量为5~20sccm,优选为10sccm。

6.根据权利要求5所述的自插层钒基二维纳米片的制备方法,其特征在于,所述反应在大气压强条件下进行。

7.根据权利要求1~6任一项所述的自插层钒基二维纳米片的制备方法,其特征在于,所述自插层钒基十五硫硒化八钒纳米片的生长基底为蓝宝石基底;和/或,还包括在进行加热前,使用氩气对所述双温反应区进行清洗。

8.根据权利要求1~7任一项所述的自插层钒基二维纳米片的制备方法,其特征在于,包括:将所述五氧化二钒置于反应容器内,然后将蓝宝石基底扣在所述反应容器上,再将所述反应容器放置于双温反应区的下游;将所述硫粉和硒粉进行混合,放于所述双温反应区的上游;然后加热进行化学气相沉积反应,冷却。

9.权利要求1~8任一项所述自插层钒基二维纳米片的制备方法制得的自插层钒基十五硫硒化八钒纳米片。

10.权利要求9所述自插层钒基二维纳米片的应用,其特征在于,包括在场效应晶体管或自旋电子器件中的应用。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国家纳米科学中心,未经国家纳米科学中心许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110559391.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top