[发明专利]旋转型模块结合型离子发生器

说明书

本发明的旋转型模块结合型离子发生器的特征在于，包括：主体，所述主体在内部形成一个以上的收纳空间，形成与所述收纳空间连通的插入槽；X射线管模块，所述X射线管模块插入于所述主体的收纳空间，且包括具有第一连接器的第一接线插座、与所述第一连接器电气连接的X射线管；旋转体，所述旋转体在所述主体的收纳空间一侧形成，能以旋转轴为中心旋转地结合；及第二接线插座，所述第二接线插座结合于所述旋转体，能借助于所述旋转体的旋转而旋转，包括向所述第一连接器传递电源的第二连接器；所述第二接线插座在所述主体外侧结合于所述X射线管模块的第一接线插座，所述第一连接器导电接触所述第二连接器后，所述旋转体随着旋转所述X射线管模块而旋转，所述X射线管模块容纳于所述收纳空间。

技术领域

本发明涉及旋转型模块结合型离子发生器，更详细而言，涉及一种以X射线管模块容易拆装的结构形成的旋转型模块结合型离子发生器。

背景技术

一般而言，在LCD、半导体等的制造工序中，为了预先防止发生微细灰尘附着于LCD或半导体晶片或者因静电导致元件损毁等问题，安装除静电装置。

除静电装置大致分为电晕放电式装置与X射线辐射式装置，最近，主要使用X射线辐射式装置，即X射线离子发生器(X-ray Ionizer)，这种装置克服了电晕放电式装置具有的高电压放电导致的溅射现象、产生臭氧、离子平衡调整所致不便等缺点。

X射线离子发生器是生成并辐射X射线(X-ray)而使气体分子离子化，从而使除电对象物体表面的静电中和的装置，主要以照射软X射线(Soft X-ray)的方式体现。这种X射线离子发生器不产生微细灰尘，也不需要使空气对流，因而更是倍受瞩目，并开发成多样的方式。

韩国授权专利第10-1656781号“容易更换X射线管的X射线离子发生器”是本申请人2016年2月5日申请、2016年9月6日授权的专利，涉及一种容易更换X射线管的X射线离子发生器，包括：供特殊制作的连结螺栓以挂接方式放置的X射线管模块；以能够与所述X射线管模块拆装的方式形成的电压发生组件；及在内部容纳所述电压发生组件的主体；使得所述X射线管模块利用连结螺栓，简便地从所述主体内容纳的电压发生组件拆卸，因而具有无需另外的工具便可以简便地只更换作为消耗性部件的X射线管的效果。

但是，就所述技术而言，由于所述X射线管模块单纯地竖直插入于电压发生组件的构成上的局限，所述X射线管模块内第二电极部朝向所述竖直插入方向，由于重力作用，不仅存在荷重集中于所述第二电极部的末端面部的问题，而且还存在当施加高电压时，难以确保用于防止发生沿面放电所需的充分的沿面距离的缺点。

旨在解决这种以往技术具有的问题的韩国公布专利第10-2020-0046850号“X射线管容易拆装并确保了放电安全距离的X射线离子发生器”是本申请人2018年10月26日申请、2020年5月7日公开的专利，涉及一种X射线管容易拆装并确保了放电安全距离的X射线离子发生器，更详细而言，涉及一种以X射线管容易拆装的结构形成且为了在施加高电压时防止发生沿面放电而确保充分沿面距离的X射线离子发生器，但由于X射线管模块滑动到电压发生组件内部进行结合的构成上的局限，在所述X射线管模块拆装时，难以在视觉上确认连接器部位，因而存在所述X射线管模块结合不便的问题。

现有技术文献

【专利文献】

(专利文献1)韩国授权专利第10-1656781号(2016年9月6日)

(专利文献2)韩国公布专利公报第10-2020-0046850号(2020年5月7日)

发明内容

本发明的目的旨在解决上述问题，提供一种旋转型模块结合型离子发生器，第二接线插座在主体外侧结合于X射线管模块的第一接线插座后，旋转所述X射线管模块而使得所述X射线管模块容纳于收纳空间，主体与所述X射线管容易拆装。