[发明专利]容器处置设备

权利要求书

1.一种容器处置设备，具备：

容器处置装置，处置对象容器；

控制部，控制前述容器处置装置的动作；

其特征在于，

在前述对象容器，收容对象基板，所述对象基板是至少厚度不同的多个种类的基板中的某个种类的基板；

前述容器处置装置构成为，进行对象动作，所述对象动作是在支承着前述对象容器的状态下沿着移动路径移动的移动动作、使前述对象容器升降的升降动作、使前述对象容器绕沿着上下方向的轴心旋转的回转动作和使前述对象容器朝向前述对象容器的移载对象部位移动的移载动作中的至少两个动作；

前述控制部构成为，能够对于前述对象动作的各自，按照收容于前述对象容器的前述对象基板的种类而设定不同的动作速度。

2.如权利要求1所述的容器处置设备，其特征在于，

前述控制部以随着前述对象基板的厚度变小而变低的方式设定关于前述对象动作的各自的动作速度。

3.如权利要求1或2所述的容器处置设备，其特征在于，

前述容器处置装置构成为，能够将大小不同的多个种类的容器作为前述对象容器处置；

前述控制部构成为，能够对于前述对象动作的各自，按照收容于前述对象容器的前述对象基板的种类和前述对象容器的种类的组合而设定不同的动作速度。

4.如权利要求3所述的容器处置设备，其特征在于，

前述控制部以随着前述对象容器变大而变低的方式设定关于前述对象动作的各自的动作速度。

5.如权利要求1～4中任一项所述的容器处置设备，其特征在于，

前述控制部在使前述容器处置装置并行进行多个前述对象动作的情况下，使多个前述对象动作的全部以对多个前述对象动作的各自设定的动作速度中的最低的动作速度进行。

6.如权利要求1～5中任一项所述的容器处置设备，其特征在于，

在前述对象动作中包括前述移动动作；

前述对象容器具备将前述对象基板的收容空间的内部与外部连通的开口部；

将前述开口部成为前述容器处置装置的移动方向的前侧的前述对象容器的姿势作为对象姿势；

前述控制部关于前述移动动作，将前述对象容器以前述对象姿势被前述容器处置装置支承的情况下的动作速度设定为比前述对象容器以与前述对象姿势不同的姿势被前述容器处置装置支承的情况下的动作速度低。

7.如权利要求1～6中任一项所述的容器处置设备，其特征在于，

在前述对象动作中包括前述升降动作；

前述控制部关于前述升降动作，将使前述对象容器下降的情况下的动作速度设定为比使前述对象容器上升的情况下的动作速度低。