[发明专利]一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具

说明书

本发明公开了晶片镀膜技术领域的一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，包括载具和与其适配的掩膜组件，载具包括载体和固定在载体前端的固定载臂和拉力载臂以及用于固定掩膜组件的固定板，拉力载臂顶部滑动连接有移动载板，固定载臂和移动载板顶部均开设有燕尾槽，掩膜组件包括中间载板和位于其两侧的限位载板以及位于最外侧的掩膜板，中间载板上下和两侧边均固定连接有边缘凸块，本发明晶片的定位安装，简单快捷，且较为稳定不会移位，受力稳定，不易破损，掩膜组件可张紧，镀膜精度高。

技术领域

本发明涉及晶片镀膜技术领域，具体为一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具。

背景技术

镀膜是石英晶体谐振器生产的重要工序之一，也是自动化较低的工序。其作用为在晶片两面镀上Cr、Ag，形成电极。石英晶体的化学成分为SiO2，晶体属三方晶系的氧化物矿物，即低温石英，是石英族矿物中分布最广的一个矿物种，石英集合体通常呈粒状、块状或晶簇、晶腺等。纯净的石英无色透明，玻璃光泽，贝壳状断口上具油脂光泽，无解理，受压或受热能产生电效应。镀膜一般采用物理气相沉积法，磁控溅射是物理气相沉积(PhysicalVapor Deposition，PVD)的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体和绝缘体等材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。

现有技术中适应晶片掩膜加工过程中常会用到掩膜工装进行固定，常用的掩膜工装固定点单一，装片较为复杂，镀膜效率低下，受力不均匀可能导致适应晶片破损，掩膜板在重力作用下有一定的下垂量，在重复使用过程中掩膜板液容易松弛变形，掩膜板的变形会导致镀膜区域的边界有误。

基于此，本发明设计了一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，以解决上述背景技术中提出的掩膜工装固定点单一，装片较为复杂，镀膜效率低下，受力不均匀可能导致适应晶片破损，掩膜板在重力作用下有一定的下垂量，在重复使用过程中掩膜板液容易松弛变形，掩膜板的变形会导致镀膜区域的边界有误的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，包括载具和与其适配的掩膜组件，所述载具包括载体和固定在载体前端的固定载臂和拉力载臂以及用于固定掩膜组件的固定板，所述拉力载臂顶部滑动连接有移动载板，所述固定载臂和移动载板顶部均开设有燕尾槽，所述掩膜组件包括中间载板和位于其两侧的限位载板以及位于最外侧的掩膜板，所述中间载板上下和两侧边均固定连接有边缘凸块。

优选的，所述拉力载臂中间开设有U形槽，其两端与外界连通，所述移动载板底部固定连接有张紧板，所述U形槽内固定安装有收紧件用于驱动张紧板移动。

优选的，所述收紧件包括固定连接在张紧板内侧的固定螺杆和螺纹连接在固定螺杆外的同步螺套，所述同步螺套外壁固定连接有驱动锥轮，所述拉力载臂中间转动连接有六角头锥轮，所述驱动锥轮与六角头锥轮啮合。

优选的，所述固定载臂的每两个之间设有拉力载臂，所述拉力载臂上的移动载板设有两组。

优选的，所述燕尾槽顶部均固定连接有定位柱，位于侧边的边缘凸块中间均开设有定位孔，所述定位柱与定位孔配合。

优选的，所述固定板侧壁固定连接有顶部固定臂，所述顶部固定臂与固定载臂通过螺钉固定连接。

优选的，所述中间载板中间开设有安装框，所述限位载板中间开设有限位框，所述掩膜板中间开设有镀膜框，所述限位框面积小于安装框面积，所述镀膜框底部无遮挡。

优选的，所述边缘凸块位于上下两端的顶部开设有防呆边，所述限位载板和掩膜板四边也均开设有燕尾槽，所述掩膜板上下两端的燕尾槽小于边缘凸块面积且与防呆边配合。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：