[发明专利]一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具

权利要求书

1.一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，其特征在于：包括载具和与其适配的掩膜组件，所述载具包括载体(1)和固定在载体(1)前端的固定载臂(2)和拉力载臂(3)以及用于固定掩膜组件的固定板(4)，所述拉力载臂(3)顶部滑动连接有移动载板(5)，所述固定载臂(2)和移动载板(5)顶部均开设有燕尾槽(6)，所述掩膜组件包括中间载板(7)和位于其两侧的限位载板(8)以及位于最外侧的掩膜板(9)，所述中间载板(7)上下和两侧边均固定连接有边缘凸块(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，其特征在于：所述拉力载臂(3)中间开设有U形槽(11)，其两端与外界连通，所述移动载板(5)底部固定连接有张紧板(12)，所述U形槽(11)内固定安装有收紧件用于驱动张紧板(12)移动。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，其特征在于：所述收紧件包括固定连接在张紧板(12)内侧的固定螺杆(13)和螺纹连接在固定螺杆(13)外的同步螺套(14)，所述同步螺套(14)外壁固定连接有驱动锥轮(15)，所述拉力载臂(3)中间转动连接有六角头锥轮(16)，所述驱动锥轮(15)与六角头锥轮(16)啮合。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，其特征在于：所述固定载臂(2)的每两个之间设有拉力载臂(3)，所述拉力载臂(3)上的移动载板(5)设有两组。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，其特征在于：所述燕尾槽(6)顶部均固定连接有定位柱(17)，位于侧边的边缘凸块(10)中间均开设有定位孔(18)，所述定位柱(17)与定位孔(18)配合。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，其特征在于：所述固定板(4)侧壁固定连接有顶部固定臂(19)，所述顶部固定臂(19)与固定载臂(2)通过螺钉固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，其特征在于：所述中间载板(7)中间开设有安装框(20)，所述限位载板(8)中间开设有限位框(21)，所述掩膜板(9)中间开设有镀膜框(22)，所述限位框(21)面积小于安装框(20)面积，所述镀膜框(22)底部无遮挡。

8.根据权利要求1所述的一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，其特征在于：所述边缘凸块(10)位于上下两端的顶部开设有防呆边(23)，所述限位载板(8)和掩膜板(9)四边也均开设有燕尾槽(6)，所述掩膜板(9)上下两端的燕尾槽(6)小于边缘凸块(10)面积且与防呆边(23)配合。