[发明专利]一种高效超精研磨装置

权利要求书

1.一种高效超精研磨装置，其特征在于，包括：

研磨桶，所述研磨桶具有研磨腔；

多个研磨组件，多个所述研磨组件设置在所述研磨腔内，所述研磨组件能够绕所述研磨组件的轴线相对于所述研磨腔旋转；以及

振荡器，所述振荡器设置在所述研磨腔的腔壁上，并平行于所述研磨组件的轴线，用于向所述研磨腔内提供振动波，所述研磨腔内均布有多个所述振荡器，且多个所述振荡器的振动频率不相同；

其中，所述研磨组件包括：转轴，所述转轴设置在所述研磨腔内，所述转轴能够绕所述转轴的轴线相对于所述研磨腔旋转；以及

多个分散盘，多个所述分散盘安装在所述转轴上；

所述研磨桶包括：桶体，所述桶体具有所述研磨腔；以及

两个移动装置，两个所述移动装置分别对称地设置在所述研磨腔的腔壁上，所述转轴的两端分别与所述移动装置连接，所述移动装置能够带动所述研磨组件相对于所述桶体绕旋转线做圆周运动；

所述桶体包括固定桶及转动桶，所述转动桶设置在所述固定桶内，且所述转动桶能够相对于所述固定桶转动，所述振荡器设置在所述转动桶上。

2.根据权利要求1所述的高效超精研磨装置，其特征在于，

相邻所述研磨组件之间的所述分散盘交替设置，且相邻所述研磨组件的运动轨迹部分相交。

3.根据权利要求1所述的高效超精研磨装置，其特征在于，

相邻所述研磨组件绕所述旋转线的旋转方向相同；

相邻所述研磨组件绕所述旋转线运动速度不相同。

4.根据权利要求1中所述的高效超精研磨装置，其特征在于，还包括：速度调节装置，所述速度调节装置分别与所述研磨组件、所述移动装置以及所述转动桶连接，每隔预设时间所述速度调节装置逐渐降低所述研磨组件、所述移动装置以及所述转动桶的转速。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的高效超精研磨装置，其特征在于，还包括：第一控制器，所述第一控制器与所述转轴连接；

所述转轴包括：轴体；

多个固定套，多个所述固定套设在所述固定套上，并能够相对于所述轴体移动，多个所述分散盘分别设置在多个所述固定套上；以及

驱动装置，所述驱动装置分别与多个所述固定套连接，用于驱动所述固定套相对于所述轴体转动；

所述第一控制器与所述驱动装置连接，用于每隔预设时间控制所述驱动装置调节相邻所述固定套之间的距离。

6.根据权利要求5所述的高效超精研磨装置，其特征在于，

所述第一控制器控制不同所述转轴上的所述驱动装置调节所述固定套的距离不相同。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的高效超精研磨装置，其特征在于，还包括：鼓风装置，所述鼓风装置与所述研磨腔连通，用于向所述研磨腔内送风；以及

第二控制器，所述第二控制器与所述鼓风装置连接，所述第二控制器每隔单位时间控制所述鼓风装置向所述研磨腔内送风设定时间。