[发明专利]磨削装置

权利要求书

1.一种磨削装置，其中，

该磨削装置具有：

保持工作台，其保持被加工物并旋转；

磨削磨轮，其包含固定于旋转主轴的环状的基台和固定于该基台的多个磨削磨具；以及

超声波清洗单元，其对该环状的基台进行清洗，

该超声波清洗单元包含：

侧壁，其围绕该基台和该磨削磨具的内侧和外侧；

底面，其连接该侧壁；

喷射口，其形成于该侧壁或该底面的至少任意一方，朝向该基台或该磨削磨具的至少任意一方喷射清洗液；

清洗液提供部，其向该喷射口提供清洗液；

超声波振子，其对从该清洗液提供部提供的清洗液赋予超声波；以及

电力提供部，其对该超声波振子施加电力。

2.根据权利要求1所述的磨削装置，其中，

该底面与清洗液排出管连接，该底面按照朝向连接有该清洗液排出管的部分变低的方式倾斜。

3.根据权利要求1或2所述的磨削装置，其中，

该超声波振子配置于该侧壁或该底面的至少任意一方。