[发明专利]一种基于介电泳和法珀腔的细胞浓度检测方法及装置

权利要求书

1.一种基于介电泳和法珀腔的细胞浓度检测装置，其特征在于，包括FP腔，FP腔包括平行设置的上反射镜和下反射镜，上反射镜内表面设置有金属层，下反射镜内表面设置有介电泳电极，所述介电泳电极由位于中心作为正极的圆形金属层，和位于圆形金属层外周作为负极的金属层组成；圆形金属层与作为负极的金属层相间隔；所述上反射镜为透光材质。

2.根据权利要求1所述的一种基于介电泳和法珀腔的细胞浓度检测装置，其特征在于，下反射镜的圆形金属层厚度为90-110nm，上反射镜的金属层厚度为25-30nm。

3.根据权利要求1所述的一种基于介电泳和法珀腔的细胞浓度检测装置，其特征在于，所述介电泳电极为先在下反射镜镀一金属层，再采用金属剥离法去除一条环状的金属层，以在下反射镜中心形成圆形电极，同时在圆形电极外周形成负极电极。

4.根据权利要求3所述的一种基于介电泳和法珀腔的细胞浓度检测装置，其特征在于，介电泳电极的制备方法包括以下步骤：

S1：在下反射镜基底上旋涂上光刻胶，然后将基底和刻有圆形电极结构图案的掩膜板固定；

S2：对固定好的基底进行充分曝光；

S3：曝光后，对基底上的光刻胶进行显影；

S4：采用磁控溅射镀膜方法在基底上镀金，然后剥离形成圆形电极和外围的负极电极。

5.根据权利要求1所述的一种基于介电泳和法珀腔的细胞浓度检测装置，其特征在于，上反射镜内表面设置的金属层、圆形金属层以及位于圆形金属层外周作为负极的金属层的材质均为金。

6.根据权利要求1所述的一种基于介电泳和法珀腔的细胞浓度检测装置，其特征在于，所述上反射镜和下反射镜均为白玻璃。

7.一种采用如权利要求1-6任意一项所述装置的细胞浓度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

a）将待测细胞溶液注入上反射镜和下反射镜之间的空隙；

b）在圆形电极上施加正弦电压，使细胞向圆形电极移动并聚集在圆形电极内；

c）将光束照射到圆形电极上产生共振，通过监测反射共振光谱的波长偏移来测量细胞浓度。

8.根据权利要求7所述的细胞浓度检测方法，其特征在于，上反射镜和下反射镜在检测前进行平行校准。

9.根据权利要求7所述的细胞浓度检测方法，其特征在于，采用可调谐红外光纤激光器发射光束。