[发明专利]用于真空机组的控制装置和控制方法

说明书

本申请公开一种用于真空机组的控制装置，包括：供电单元，所述供电单元包括电源，所述电源设置为向机械泵、分子泵、真空计以及24V直流电源供电；机械泵控制单元，所述机械泵控制单元控制机械泵的开启和停止；分子泵控制单元，所述分子泵控制单元控制分子泵的开启和停止；真空计，所述真空计提供真空联锁信号；泵阀控制单元，所述泵阀控制单元根据所述真空计提供的真空联锁信号对泵阀进行控制。本申请还公开一种用于真空机组的控制方法。真空机组的供电和联锁控制功能通过模块化的供电和通讯控制模块，其连接和调试变得简单。

技术领域

本申请涉及真空机组设备的就地/远程无切换模式即插即用型一体化集成供电与联锁控制单元，具体地涉及用于真空机组的控制装置和控制方法。

背景技术

这里的陈述仅仅提供与本发明有关的背景信息，而不必然地构成现有技术。真空机组是加速器设备及工业领域常用的系统设备，一般由真空机械泵、真空细抽泵、真空阀组成，并配有电源和真空计。通常供电取自外供电箱插座，通讯和控制则需要另外配备控制功能模块，机械泵的供电还与细抽泵有联锁关系，真空计也与细抽泵、阀门有联锁关系。

发明内容

在下文中给出了关于本申请的简要概述，以便提供关于本申请的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本申请的穷举性概述。它并不是意图确定本申请的关键或重要部分，也不是意图限定本申请的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念，以此作为稍后论述的更详细描述的前序。

鉴于上述需求，本申请的目的是提供一种用于真空机组的控制装置，包括：

供电单元，所述供电单元包括电源，所述电源设置为向机械泵、分子泵、真空计以及24V直流电源供电；

机械泵控制单元，所述机械泵控制单元控制机械泵的开启和停止；

分子泵控制单元，所述分子泵控制单元控制分子泵的开启和停止；

真空计，所述真空计提供真空联锁信号；

泵阀控制单元，所述泵阀控制单元根据所述真空计提供的真空联锁信号对泵阀进行控制。

根据本申请的一些实施例，其中还包括：状态显示单元，所述状态显示单元显示如下状态中的一项或者多项：

380V供电正常；24V供电正常；机械泵启动/停止；分子泵启动/停止；泵阀开启/关闭；真空联锁满足；机械泵故障；分子泵故障；泵阀保护状态；和旁路/保护。

根据本申请的一些实施例，其中，还包括：通讯单元，所述通讯单元与所述供电单元一体化集成。

根据本申请的一些实施例，其中，所述通讯单元的远程信号传输通过端子接线，利用模拟量信号和数字量信号实现。

根据本申请的一些实施例，其中，所述通讯单元的远程信号传输通过端子接线，利用485接口实现。

根据本申请的一些实施例，其中，所述通讯单元的485接口的电路板采用内嵌的ARM微处理器。

根据本申请的一些实施例，其中，所述通讯单元的485接口的电路板上电源供电与联锁信号进行光电隔离。

根据本申请的一些实施例，其中，所述通讯单元的485接口的电路板上还包括用于执行远程嵌入式控制的继电器组。

根据本申请的一些实施例，其中，所述电源的A相和N引至所述24V直流电源的供电端子。

根据本申请的一些实施例，其中，所述电源的B相和N引至所述分子泵的供电开关，由所述分子泵供电开关的出线端引至分子泵供电插座端子和控制线路熔断器进线端。

根据本申请的一些实施例，其中，所述电源的C相和N引至真空计的供电开关，所述真空计供电开关的出线端引至控制线路熔断器进线端。