[发明专利]用于真空机组的控制装置和控制方法

权利要求书

1.一种用于真空机组的控制装置，包括：

供电单元，所述供电单元包括电源，所述电源设置为向机械泵、分子泵、真空计以及24V直流电源供电；

机械泵控制单元，所述机械泵控制单元控制机械泵的开启和停止；

分子泵控制单元，所述分子泵控制单元控制分子泵的开启和停止；

真空计，所述真空计提供真空联锁信号；

泵阀控制单元，所述泵阀控制单元根据所述真空计提供的真空联锁信号对泵阀进行控制。

2.根据权利要求1所述的用于真空机组的控制装置，其中还包括：状态显示单元，所述状态显示单元显示如下状态中的一项或者多项：

380V供电正常；24V供电正常；机械泵启动/停止；分子泵启动/停止；泵阀开启/关闭；真空联锁满足；机械泵故障；分子泵故障；泵阀保护状态和旁路/保护。

3.根据权利要求1所述的用于真空机组的控制装置，其中还包括：通讯单元，所述通讯单元与所述供电单元一体化集成。

4.根据权利要求3所述的用于真空机组的控制装置，其中，所述通讯单元的远程信号传输通过端子接线，利用模拟量信号和数字量信号实现。

5.根据权利要求3所述的用于真空机组的控制装置，其中，所述通讯单元的远程信号传输通过端子接线，利用485接口实现。

6.根据权利要求5所述的用于真空机组的控制装置，其中，所述通讯单元的485接口的电路板采用内嵌的ARM微处理器。

7.根据权利要求5所述的用于真空机组的控制装置，其中，所述通讯单元的485接口的电路板上电源供电与联锁信号进行光电隔离。

8.根据权利要求5所述的用于真空机组的控制装置，其中，所述通讯单元的485接口的电路板上还包括用于执行远程嵌入式控制的继电器组。

9.根据权利要求1所述的用于真空机组的控制装置，其中，所述电源的A相和N引至所述24V直流电源的供电端子。

10.根据权利要求1所述的用于真空机组的控制装置，其中，所述电源的B相和N引至所述分子泵的供电开关，由所述分子泵供电开关的出线端引至分子泵供电插座端子和控制线路熔断器进线端。

11.根据权利要求1所述的用于真空机组的控制装置，其中，所述电源的C相和N引至真空计的供电开关，所述真空计供电开关的出线端引至控制线路熔断器进线端。

12.根据权利要求1所述的用于真空机组的控制装置，其中，所述机械泵的供电开关的出线端连接至主控继电器，所述主控继电器的线圈线路串接所述机械泵控制继电器的常开触点和热保护继电器常闭触点，当机械泵控制继电器的线圈带电后，热保护继电器触点处于闭合状态，主控继电器的线圈吸合。

13.根据权利要求1所述的用于真空机组的控制装置，其中所述真空联锁包括低真空联锁和高真空联锁，分别对应低真空联锁继电器和高真空联锁继电器，当真空计的联锁信号输出为高电平时，主控继电器的线圈吸合。

14.一种用于真空机组的控制方法，包括：

提供电源向机械泵、分子泵、真空计以及24V直流电源供电；

通过机械泵控制单元控制机械泵的开启和停止；

通过分子泵控制单元控制分子泵的开启和停止；

通过真空计提供真空联锁信号；

根据所述真空计提供的真空联锁信号，通过泵阀控制单元对泵阀进行控制。