[发明专利]利用氢化硅和银的感应透射滤波器

说明书

本申请涉及利用氢化硅和银的感应透射滤波器。感应透射滤波器可以包括光学滤波器层的集合。该光学滤波器层的集合可以包括光学滤波器层的第一子集，该光学滤波器层的第一子集包括具有第一折射率的第一材料，该第一材料至少包括硅和氢。该光学滤波器层的集合可以包括光学滤波器层的第二子集，该光学滤波器层的第二子集包括具有第二折射率的第二材料。第二材料可以不同于第一材料，并且第二折射率可以小于第一折射率。第二材料可以至少包括银。

相关申请的交叉引用

本专利申请要求于2020年4月28日提交并且标题为“INDUCED TRANSMISSIONFILTER WITH HYDROGENATED SILICON AND SILVER”的第63/016,731号美国临时专利申请的优先权。该在先申请的公开内容被认为是本专利申请的一部分，并且通过引用并入本专利申请。

背景

光学发射器可以发射指向一个或更多个对象的光。例如，在手势识别系统中，光学发射器可以向用户发射近红外(NIR)光，并且NIR光可以从用户向光学接收器反射。在这种情况下，光学接收器可以捕获关于NIR光的信息，并且该信息可以用于识别用户正在执行的手势。例如，设备可以使用该信息来生成用户的三维表示，并基于该三维表示来识别用户正在执行的手势。在其他示例中，系统可以使用光学发射器和光学接收器来进行测距、对象识别、光谱分析(spectroscopy)、健康监测等。

在一些情况下，在光的透射期间，可能需要发射的光的特定图案或发射的光的频带(band)，因此可以将光整形光学器件设置在光学发射器与目标之间的光路上。类似地，在发射的光向目标的透射期间和/或从目标反射到光学接收器期间，环境光可能会干扰发射的光。在这样的情况下，光学滤波器可以设置在目标和光学接收器之间的光路中。例如，光学接收器可以光学耦合到感应透射滤波器、带通滤波器等，以对一些波长的光(例如，对应于环境光的波长)进行滤波，并允许其他波长的光(例如，对应于诸如发射的NIR光的波长)穿过朝向光学接收器。

概述

根据一些可能的实施方式，感应透射滤波器可以包括光学滤波器层的集合。该光学滤波器层的集合可以包括光学滤波器层的第一子集，该光学滤波器层的第一子集包括具有第一折射率的第一材料，该第一材料至少包括硅和氢。该光学滤波器层的集合可以包括光学滤波器层的第二子集，该光学滤波器层的第二子集包括具有第二折射率的第二材料。第二材料可以不同于第一材料。第二材料可以至少包括银。

根据一些可能的实施方式，一种方法可以包括沉积光学滤波器的光学滤波器层的第一子集，光学滤波器层的第一子集包括具有第一折射率的第一材料，第一材料至少包括硅和氢；以及沉积光学滤波器的光学滤波器层的第二子集，光学滤波器层的第二子集包括具有第二折射率的第二材料，并且第二材料不同于第一材料，第二材料至少包括金属。金属可能是银。

根据一些可能的实施方式，光学系统可以包括光学滤波器，以对输入的光学信号进行滤波并提供滤波后的输入的光学信号。光学滤波器可以包括光学滤波器层的集合。该光学滤波器层的集合可以包括光学滤波器层的第一子集，该光学滤波器层的第一子集包括具有第一折射率的第一材料，该第一材料至少包括硅和氢。该光学滤波器层的集合可以包括光学滤波器层的第二子集，该光学滤波器层的第二子集包括具有第二折射率的第二材料，第二材料不同于第一材料，第二材料至少包括银。光学系统可以包括光学接收器，该光学接收器用于接收滤波后的输入的光学信号并提供输出的电信号。

在下文的一个或更多个实施方案中可以实现本申请的各方面：

1)一种感应透射滤波器，所述感应透射滤波器包括：

光学滤波器层的集合，所述光学滤波器层的集合包括：

光学滤波器层的第一子集，所述光学滤波器层的第一子集包括具有第一折射率的第一材料，所述第一材料至少包括硅或氢；和

光学滤波器层的第二子集，所述光学滤波器层的第二子集包括具有第二折射率的第二材料，