[发明专利]一种基于量子点的紫外探测器及制作方法

权利要求书

1.一种基于量子点的紫外探测器，其特征在于，紫外探测器包括封装外壳（1）、石英平凹透镜（2）、短通膜（3）、量子点膜（4）、光电二极管（5），其中封装外壳（1）置于光电二极管（5）上，石英平凹透镜（2）放置于封装外壳（1）的通光孔中，短通膜（3）均匀沉积在石英平凹透镜（2）的凹面，量子点膜（4）均匀涂覆在短通膜（3）上；

所述短通膜（3）为高折射率材料和低折射率材料交替镀制的多层膜结构；

所述量子点膜（4）为掺杂量子点与成膜剂PMMA混合制成的薄膜；

所述石英平凹透镜（2）的凹面朝内，即凹面面向探测器。

2.根据权利要求1所述的一种基于量子点的紫外探测器，其特征在于，所述高折射率材料采用HfO₂，所述低折射率材料采用SiO₂。

3.根据权利要求1所述的一种基于量子点的紫外探测器，其特征在于，所述掺杂量子点为ZnCdS:Mn/ZnCdS/ZnS厚壳层量子点。

4.一种如权利要求1所述的基于量子点的紫外探测器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1.光电二极管（5）的准备：光电二极管（5）选用工作在可见光波段的背照式PIN光电二极管；

步骤S2.石英平凹透镜（2）的准备：石英平凹透镜（2）选用平凹透镜，平面面向光源，凹面面向探测器；

步骤S3.封装外壳（1）的准备：封装外壳（1）将石英平凹透镜（2）固定在光电二极管（5）上，封装外壳（1）的通光孔大小需与石英平凹透镜（2）的大小相吻合，通光孔的位置在光电二极管（5）感光面正中央，并使得石英平凹透镜（2）与光电二极管（5）的表面贴合；

步骤S4.短通膜（3）的制备：短通膜（3）采用能在紫外波段透明的HfO₂作为高折射率材料、SiO₂作为低折射率材料，交替镀制在石英平凹透镜（2）的凹面；

步骤S5.量子点膜（4）的制备：使用ZnCdS:Mn/ZnCdS/ZnS厚壳层量子点与成膜剂PMMA混合超声后的溶液，将该溶液涂覆于短通膜（3）上，干燥后得到将紫外光转换成可见光的量子点膜（4）。

5.根据权利要求4所述的一种基于量子点的紫外探测器的制作方法，其特征在于，所述步骤S4中，短通膜（3）使用物理气相沉积的方式镀制到石英平凹透镜（2）的凹面上。

6.根据权利要求4所述的一种基于量子点的紫外探测器的制作方法，其特征在于，步骤S5中，所述量子点采用交替离子层吸附方法生长而成，其中量子点核部分采用共成核的生长方式。