[发明专利]一种光学镀膜切割装置

权利要求书

1.一种光学镀膜切割装置，其特征在于：包括，

腔室组件（100），包括由真空罩（120）与底座形成的真空腔室（110）；

溅射组件（200），设于所述真空腔室（110）内，包括由若干磁控射枪（210），靶材和偏置磁场（220）；

切割组件，包括设于所述真空腔室（110）内的夹持部件（300），连接所述夹持部件（300）的偏转部件（400），以及覆盖于所述夹持部件（300）一侧的遮挡部件（500），所述遮挡部件（500）包括挡板件（510），所述偏转部件（400）驱动所述夹持部件（300）在所述挡板的一侧偏转移动；

所述夹持部件（300）包括至少两个夹持件（320），所述夹持件（320）形成夹持区域，所述夹持部件（300）设于所述偏置磁场（220）中央，所述挡板件（510）中间留有针对所述夹持区域的通孔（511）；

所述偏转部件（400）包括，偏转盘（410），与所述夹持部件（300）连接，带动所述夹持部件（300）偏转移动；转动件，设于所述真空腔室（110）内，包括驱动所述偏转盘（410）转动的转动轴（421）；轴距调节件（430），连接所述转动轴（421）与所述偏转盘（410），调节所述转动轴（421）与所述偏转盘（410）中心的轴距；

所述轴距调节件（430）包括滑移件（431）和滑移座（432），所述偏转盘（410）与所述滑移件（431）固定连接，所述滑移件（431）滑动连接在所述滑移座（432）上，所述滑移件（431）在所述滑移座（432）的通槽（432a）中直线运动；

所述轴距调节件（430）还包括直线驱动杆（433），所述直线驱动杆（433）穿过所述滑移座（432）并与所述滑移件（431）螺纹连接，且其长度方向与所述滑移件（431）的移动方向平行，所述直线驱动杆（433）转动时，所述滑移件（431）移动；

所述转动件还包括转动支架（422），所述转动轴（421）设于所述转动支架（422）上，且一端与所述滑移座（432）固定连接；

所述夹持部件（300）包括同步驱动件（310），所述夹持件（320）活动设置于所述同步驱动件（310）上，所述同步驱动件（310）带动所述夹持件（320）向所述夹持空间中心靠近或远离；

所述同步驱动件（310）包括环形驱动盘（311），且所述环形驱动盘（311）上设有驱动螺纹（311a），所述夹持件（320）通过滑动块设于所述环形驱动盘（311）上，所述滑动块上形成有若干与所述驱动螺纹（311a）适配的滑槽（312a）；所述环形驱动盘（311）转动后，驱动所述滑动块沿径向直线移动；

所述夹持件（320）沿着所述同步驱动件（310）分布有至少三个，其中至少一个所述夹持件（320）上设有固定卡接器（322），至少一个所述夹持件（320）上设有活动卡接器（321），所述活动卡接器（321）通过螺栓转动连接在所述夹持件（320）上，所述固定卡接器（322）与所述活动卡接器（321）上均设有卡接口；

所述夹持部件（300）还包括导向套（330），同步驱动件（310）与所述夹持件（320）均设于所述导向套（330）内，所述导向套（330）沿径向开设有导向通道（331），所述滑动块侧壁上设有与所述导向通道（331）适配的导向体（312b）。