[发明专利]一种光学镀膜切割装置有效

专利信息
申请号: 202110450026.6 申请日: 2021-04-25
公开(公告)号: CN113373415B 公开(公告)日: 2023-05-05
发明(设计)人: 李晨;谢微 申请(专利权)人: 江苏微纳光膜科技有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/58;B26D7/02
代理公司: 南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32272 代理人: 王晓东
地址: 221400 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 光学 镀膜 切割 装置
【权利要求书】:

1.一种光学镀膜切割装置,其特征在于:包括,

腔室组件(100),包括由真空罩(120)与底座形成的真空腔室(110);

溅射组件(200),设于所述真空腔室(110)内,包括由若干磁控射枪(210),靶材和偏置磁场(220);

切割组件,包括设于所述真空腔室(110)内的夹持部件(300),连接所述夹持部件(300)的偏转部件(400),以及覆盖于所述夹持部件(300)一侧的遮挡部件(500),所述遮挡部件(500)包括挡板件(510),所述偏转部件(400)驱动所述夹持部件(300)在所述挡板的一侧偏转移动;

所述夹持部件(300)包括至少两个夹持件(320),所述夹持件(320)形成夹持区域,所述夹持部件(300)设于所述偏置磁场(220)中央,所述挡板件(510)中间留有针对所述夹持区域的通孔(511);

所述偏转部件(400)包括,偏转盘(410),与所述夹持部件(300)连接,带动所述夹持部件(300)偏转移动;转动件,设于所述真空腔室(110)内,包括驱动所述偏转盘(410)转动的转动轴(421);轴距调节件(430),连接所述转动轴(421)与所述偏转盘(410),调节所述转动轴(421)与所述偏转盘(410)中心的轴距;

所述轴距调节件(430)包括滑移件(431)和滑移座(432),所述偏转盘(410)与所述滑移件(431)固定连接,所述滑移件(431)滑动连接在所述滑移座(432)上,所述滑移件(431)在所述滑移座(432)的通槽(432a)中直线运动;

所述轴距调节件(430)还包括直线驱动杆(433),所述直线驱动杆(433)穿过所述滑移座(432)并与所述滑移件(431)螺纹连接,且其长度方向与所述滑移件(431)的移动方向平行,所述直线驱动杆(433)转动时,所述滑移件(431)移动;

所述转动件还包括转动支架(422),所述转动轴(421)设于所述转动支架(422)上,且一端与所述滑移座(432)固定连接;

所述夹持部件(300)包括同步驱动件(310),所述夹持件(320)活动设置于所述同步驱动件(310)上,所述同步驱动件(310)带动所述夹持件(320)向所述夹持空间中心靠近或远离;

所述同步驱动件(310)包括环形驱动盘(311),且所述环形驱动盘(311)上设有驱动螺纹(311a),所述夹持件(320)通过滑动块设于所述环形驱动盘(311)上,所述滑动块上形成有若干与所述驱动螺纹(311a)适配的滑槽(312a);所述环形驱动盘(311)转动后,驱动所述滑动块沿径向直线移动;

所述夹持件(320)沿着所述同步驱动件(310)分布有至少三个,其中至少一个所述夹持件(320)上设有固定卡接器(322),至少一个所述夹持件(320)上设有活动卡接器(321),所述活动卡接器(321)通过螺栓转动连接在所述夹持件(320)上,所述固定卡接器(322)与所述活动卡接器(321)上均设有卡接口;

所述夹持部件(300)还包括导向套(330),同步驱动件(310)与所述夹持件(320)均设于所述导向套(330)内,所述导向套(330)沿径向开设有导向通道(331),所述滑动块侧壁上设有与所述导向通道(331)适配的导向体(312b)。

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