[发明专利]一种针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置有效
申请号: | 202110441574.2 | 申请日: | 2021-04-23 |
公开(公告)号: | CN113189850B | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 肖燕青;王方江;陈海巍 | 申请(专利权)人: | 无锡影速半导体科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人: | 张勇 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区菱*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 针对 rtr 柔性 印刷 电路板 双面 曝光 装置 | ||
本发明公开了一种针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置,属于曝光设备技术领域。该双面曝光装置中对准装置和曝光装置均设置于曝光台面上方,解决了目前针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光存在的设备安装维护难的问题,该RTR柔性印刷电路板双面曝光装置通过巧妙设置支撑辊转换柔性印刷电路板的前进方向,使得曝光柔性印刷电路板的正反面在被曝光时,均处于吸附台面的上方,避免了现有的曝光装置曝光时柔性印刷电路板处于吸附台面的下方,完全依靠吸附力来应对柔性印刷电路板自身重力导致的无法保证基板的平面度的问题,提高了柔性印刷电路板双面曝光的合格率。
技术领域
本发明涉及一种针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置,属于曝光设备技术领域。
背景技术
柔性印刷电路板(Flexible Printed Circuit,简称FPC)是用柔性绝缘基材制成的印刷电路板,因其质量轻、厚度薄、可自由弯曲折叠等特点使其应用场景更加灵活,应用于电子电路中,能够缩小电子产品的体积和重量;相较硬性电路板,更适用与高密度、小型化电子产品。
针对FPC板,目前LDI设备双面曝光有两种方式:一片基板一片基板的曝光和卷对卷(Roll-to-Roll,RTR)曝光;所谓一片基板一片基板的曝光,即完成一块基板的正反面曝光再接着曝光下一块基板;而所谓的卷对卷曝光即将若干基板卷成一卷,依次曝光其正面,在这一卷所有基板的正面曝光全部完成后,将整卷取下放置到待曝光区,再依次曝光这一卷所有基板的反面。
针对卷对卷曝光的方式,公告号CN211741828U的专利文件公开了两种曝光装置,分别如图1和图2所示。图1所示的曝光装置中,待曝光柔性印刷电路板卷放置在放卷装置1处,依次通过第一曝光系统和第二曝光系统,完成对其正面和反面的曝光后卷起收至收卷装置2处。该图1所示的曝光装置中包含两套曝光系统,且为了一次性完成对于基板正面和反面的曝光、而放卷装置1和收卷装置2又分别在两套曝光系统的两侧,其实现对基板反面的曝光的第二套曝光系统中的对准机构5和投影机构6需要倒置安装,而且第二套曝光系统中吸附台面位于基板的上方,其吸附力需要克服基材本身的重力还要保证基材的平整度,其吸附效果相对于第一套曝光系统会大打折扣,易导致基材报废,而且在实际应用中还存在安装维护困难、易集聚灰尘的问题。
而图2所示的曝光装置设置上下相对的对准机构5和投影机构6,其下方的对准机构5和投影机构6同样需要倒置安装,也同样存在上面安装维护困难、易集聚灰尘的问题;另外,这种曝光装置的问题还在于其没有吸附台面,只能依靠两侧的夹持机构实现对基材的支撑,从而无法保证基板的平面度,特别是大尺寸的基板因重力作用在中间部位会有凹陷,很容易导致镜头离焦。
而且,图2所示的曝光装置还存在设备通用性的问题;因为在实际应用,不同批次的基板的板厚是不同的,那么针对不同厚度的基板,上下两套曝光系统中对准机构5需要上下移动位置以调整焦距,即需要具备自动调焦的功能,这会导致成本巨大且自动调焦的效果不能保证。
发明内容
为了解决目前针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光存在的曝光合格率低、设备安装维护难的问题,本发明提供了一种针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置,所述针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置包括:放卷装置、收卷装置、第一吸附台面、第二吸附台面、对准装置、曝光装置及若干支撑辊;
其中第一吸附台面和第二吸附台面水平设置、放卷装置和收卷装置的转向相反;第一吸附台面和放卷装置的相对位置关系与第二吸附台面和收卷装置的相对位置关系一致;所述柔性印刷电路板自放卷装置首先到达第一吸附台面、经部分支撑辊转换前进方向后到达第二吸附台面,最后到达收卷装置收起;
所述柔性印刷电路板在第一吸附台面上完成一面的曝光,在第二吸附台面上完成另一面的曝光;柔性印刷电路板在第一吸附台面上完成一面的曝光时,柔性印刷电路板处于第一吸附台面的上方;柔性印刷电路板在第二吸附台面上完成另一面的曝光时,柔性印刷电路板处于第二吸附台面的上方。
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