[发明专利]一种针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置有效
申请号: | 202110441574.2 | 申请日: | 2021-04-23 |
公开(公告)号: | CN113189850B | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 肖燕青;王方江;陈海巍 | 申请(专利权)人: | 无锡影速半导体科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人: | 张勇 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区菱*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 针对 rtr 柔性 印刷 电路板 双面 曝光 装置 | ||
1.一种针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光方法,其特征在于,所述方法基于针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置实现,所述针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置包括:放卷装置、收卷装置、第一吸附台面、第二吸附台面、对准装置、曝光装置及若干支撑辊;
其中第一吸附台面和第二吸附台面水平设置、放卷装置和收卷装置的转向相反;第一吸附台面和放卷装置的相对位置关系与第二吸附台面和收卷装置的相对位置关系一致;所述柔性印刷电路板自放卷装置首先到达第一吸附台面、经部分支撑辊转换前进方向后到达第二吸附台面,最后到达收卷装置收起;
所述柔性印刷电路板在第一吸附台面上完成一面的曝光,在第二吸附台面上完成另一面的曝光;柔性印刷电路板在第一吸附台面上完成一面的曝光时,柔性印刷电路板处于第一吸附台面的上方;柔性印刷电路板在第二吸附台面上完成另一面的曝光时,柔性印刷电路板处于第二吸附台面的上方;
所述若干支撑辊包括数个用于转换柔性印刷电路板前进方向的支撑辊,其中至少一个可实现不同位置的移动以调节柔性印刷电路板在第一吸附台面和第二吸附台面间的长度;
所述第一吸附台面和第二吸附台面左右两边各包括一个可上下运动的支撑辊,用于带动柔性印刷电路板上下运动;
所述方法包括:
吸附台面左右两侧的支撑辊所带动的柔性印刷电路板略高于吸附台面,转动放卷装置和收卷装置,当柔性印刷电路板要曝光的区域到达第一吸附台面吸附位置时,第一吸附台面两侧的两个支撑辊下降,第一吸附台面开始工作将柔性印刷电路板吸附住,对准装置将抓取柔性印刷电路板上的对位孔进行对准,完成对准后曝光装置根据对准装置反馈的对位信息对柔性印刷电路板进行正面曝光;正面曝光完成后第一吸附台面两侧支撑辊上升带动柔性印刷电路板继续移动到第二吸附台面吸附位置,同理第二吸附台面两侧的支撑辊下降,第二吸附台面工作将柔性印刷电路板吸附住,然后对准装置进行对准,完成对准后根据对准信息由曝光装置进行柔性印刷电路板反面曝光。
2.根据权利要求1所述的针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光方法,其特征在于,所述针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置,还包括:横跨于第一吸附台面和第二吸附台面上方的龙门支撑结构;所述对准装置和曝光装置通过所述龙门支撑结构设置于所述第一吸附台面和第二吸附台面的上方。
3.根据权利要求2所述的针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光方法,其特征在于,所述龙门支撑结构上设置有导轨,所述对准装置和曝光装置通过所述导轨实现在第一吸附台面的上方和第二吸附台面的上方的位置切换。
4.根据权利要求3所述的针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光方法,其特征在于,所述对准装置和曝光装置通过不同的导轨实现位置切换,不同的导轨在高低方向错位设置。
5.根据权利要求1所述的针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光方法,其特征在于,所述针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置设置有两套对准装置和两套曝光装置,分别对应所述第一吸附台面和第二吸附台面。
6.根据权利要求3或4所述的针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光方法,其特征在于,所述针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置设置有一套对准装置和两套曝光装置,所述两套曝光装置分别对应所述第一吸附台面和第二吸附台面,所述曝光装置通过龙门支撑结构上设置的导轨实现在第一吸附台面的上方和第二吸附台面的上方的位置切换。
7.根据权利要求1所述的针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光方法,其特征在于,所述曝光装置的镜头至少排列成一排,当所述镜头排列成两排或以上时,镜头成错位排列。
8.根据权利要求1任一所述的针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光方法,其特征在于,所述第一吸附台面和第二吸附台面高低位置可调。
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