[发明专利]多层三维光连接结构有效
申请号: | 202110439104.2 | 申请日: | 2021-04-22 |
公开(公告)号: | CN112965165B | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 李绍洋;王玥;王亮亮;吴远大;安俊明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12;G02B6/122;G02B6/26 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周天宇 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多层 三维 连接 结构 | ||
1.一种多层三维光连接结构,其特征在于,包括:
层间耦合结构,包括设置在第一波导层(1)中的第一波导(3)、第一渐变型波导(4)和第二渐变型波导(5),以及设置在第二波导层(2)中的第二波导(6)、第三渐变型波导(7)和第四渐变型波导(8);
其中,所述第一波导(3)、所述第一渐变型波导(4)和所述第二渐变型波导(5)依次连接,所述第二波导(6)、所述第三渐变型波导(7)和所述第四渐变型波导(8)依次连接;
所述第一渐变型波导(4)与所述第四渐变型波导(8)、所述第二渐变型波导(5)与所述第三渐变型波导(7)分别呈中心对称分布;
沿所述第一波导(3)指向所述第二渐变型波导(5)的方向,所述第一渐变型波导(4)的宽度逐渐变窄,所述第二渐变型波导(5)的宽度逐渐变宽;沿所述第二波导(6)指向所述第四渐变型波导(8)的方向,所述第三渐变型波导(7)的宽度逐渐变窄,所述第四渐变型波导(8)的宽度逐渐变宽;
所述第一渐变型波导(4)和所述第二渐变型波导(5)与所述第三渐变型波导(7)和所述第四渐变型波导(8)的空间交叠部分形成层间耦合区;
交叉波导结构,包括设置在所述第一波导层(1)的第三波导(9)、第一锥形波导(10)、第四波导(11)、第二锥形波导(12)和第五波导(13),以及设置在所述第二波导层(2)的第六波导(14)、第三锥形波导(15)、第七波导(16)、第四锥形波导(17)和第八波导(18);
其中,所述第三波导(9)、所述第一锥形波导(10)、所述第四波导(11)、所述第二锥形波导(12)和所述第五波导(13)依次连接,所述第六波导(14)、所述第三锥形波导(15)、所述第七波导(16)、所述第四锥形波导(17)和所述第八波导(18)依次连接,所述第六波导(14)与所述第二波导(6)相连接,所述第四波导(11)和所述第七波导(16)呈90度交叉,均展宽成多模波导。
2.根据权利要求1所述的多层三维光连接结构,其特征在于,渐变型波导的宽度变化包括线性变化或非线性变化。
3.根据权利要求1所述的多层三维光连接结构,其特征在于,渐变型波导的宽度随波导长度变化满足如下关系:
w=w1+f(z)·(w2-w1);
其中,w为所述渐变型波导的宽度,w1和w2分别为所述渐变型波导首末两端的宽度,z为所述渐变型波导长度归一化后的值,f(z)为所述渐变型波导的形状函数。
4.根据权利要求2所述的多层三维光连接结构,其特征在于,所述非线性变化包括幂函数型变化或指数型变化。
5.根据权利要求4所述的多层三维光连接结构,其特征在于,所述渐变型波导的宽度为幂函数型变化,则所述渐变型波导的宽度随波导长度变化满足如下关系:
w=w1+f(z)·(w2-w1);
其中,
f(z)=z^k,
其中,w为所述渐变型波导的宽度,w1和w2分别为所述渐变型波导首末两端的宽度,z为所述渐变型波导长度归一化后的值,f(z)为所述渐变型波导的形状函数,k>0。
6.根据权利要求4所述的多层三维光连接结构,其特征在于,所述渐变型波导的宽度为指数型变化,则所述渐变型波导的宽度随波导长度变化满足如下关系:
w=w1+f(z)·(w2-w1);
其中,
f(z)=(e^(k·z)-1)/(e^k-1),
其中,w为所述渐变型波导的宽度,w1和w2分别为所述渐变型波导首末两端的宽度,z为所述渐变型波导长度归一化后的值,f(z)为所述渐变型波导的形状函数,k≠0。
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