[发明专利]一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器

权利要求书

1.一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，包括结构相同且对称布置的上外壳和下外壳，所述上外壳和下外壳装配成一内设有中空腔室的整体；

所述中空腔室相对的两端分别通过外壳上开设的入口孔和出口孔与外部连通，所述入口孔为组织液入口，所述出口孔为组织液出口；

所述中空腔室内布置有将中空腔室分为三个独立空间的葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜，所述葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜平行于入口孔与出口孔组成的连线方向布置，所述葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜之间设有悬臂梁，所述悬臂梁上固定有坡莫合金和压电材料；

所述上外壳和下外壳装配成型的整体外设有磁场；

所述入口孔与出口孔通过中空腔室内葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜两侧的空间直接连通。

2.根据权利要求1所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，所述悬臂梁的材质为帕利灵。

3.根据权利要求1所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，所述悬臂梁上坡莫合金表面附着一层帕利灵薄膜。

4.根据权利要求1所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，所述中空腔室内葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜之间的空间填充有3-丙烯酰胺基苯硼酸溶液。

5.根据权利要求1所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，所述上外壳和下外壳装配成型的整体外设置有水平方向和竖直方向的磁场。

6.根据权利要求1所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，所述压电材料固定在悬臂梁上且由导线通过腔室引出其电信号。

7.根据权利要求1所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，所述坡莫合金固定在悬臂梁的自由端，所述压电材料固定在悬臂梁的非自由端。