[发明专利]真空管道用的磁场移动式镀膜设备及方法

权利要求书

1.一种真空管道用的磁场移动式镀膜设备，其特征在于，包括机架、升降平台机构和升降式的磁铁组件，磁铁组件中部设有第一通孔，机架上固定安装有至少一个真空管道，真空管道位于磁铁组件的第一通孔内，磁铁组件安装于升降平台机构上，升降平台机构安装于机架上；升降平台机构带动磁铁组件沿真空管道的轴线方向在真空管道外周进行升降运动。

2.根据权利要求1所述一种真空管道用的磁场移动式镀膜设备，其特征在于，所述磁铁组件包括磁铁本体、支撑节块、连接杆和过渡底板，磁铁本体中部设置第一通孔，磁铁本体底部设置过渡底板，过渡底板上设有与第一通孔连通的第二通孔，磁铁本体外周分布有多个支撑节块，各支撑节块之间通过多个连接杆连接并支撑固定。

3.根据权利要求2所述一种真空管道用的磁场移动式镀膜设备，其特征在于，所述升降平台机构包括相连接的升降平台和升降驱动组件，磁铁组件中的过渡底板固定安装于升降平台上；升降平台上设有与第一通孔、第二通孔连通的第三通孔。

4.根据权利要求3所述一种真空管道用的磁场移动式镀膜设备，其特征在于，所述升降平台呈上部开放的矩形箱式结构，升降平台上分布有多组安装孔。

5.根据权利要求3所述一种真空管道用的磁场移动式镀膜设备，其特征在于，所述升降平台的顶部和底部均分布有若干吊钩；升降驱动组件包括驱动电机、驱动轴、链轮和链条，驱动电机安装于机架底部，机架底部和机架顶部分别安装有链轮，驱动电机通过驱动轴与位于机架底部的链轮连接，位于机架顶部和机架底部的一对链轮之间通过链条连接，链条两端分别与位于升降平台顶部和升降平台底部的一对吊钩连接。

6.根据权利要求5所述一种真空管道用的磁场移动式镀膜设备，其特征在于，所述升降平台上设有四对吊钩，对应位于升降平台顶部和升降平台底部的两个吊钩形成一对吊钩；机架上分布有四对链轮，对应位于机架顶部和机架底部的两个链轮形成一对链轮，每对链轮和每个吊钩对应通过一个链条连接；安装于机架底部的四个链轮中，两个链轮作为主动轮，分别设于驱动轴两端，另外两个链轮作为从动轮，位于驱动轴同一端的主动轮与从动轮之间通过一组同步带组件进行连接。

7.根据权利要求3所述一种真空管道用的磁场移动式镀膜设备，其特征在于，沿升降平台的运动方向，所述机架上还设有导轨，升降平台外侧设有沿导轨进行滑动的滑块。

8.根据权利要求1所述一种真空管道用的磁场移动式镀膜设备，其特征在于，所述真空管道内设有靶源组件，真空管道内部形成密封空间，真空管道悬挂于机架上。

9.根据权利要求1所述一种真空管道用的磁场移动式镀膜设备，其特征在于，所述机架的中部为镀膜操作空间，镀膜操作空间外周还设有多个操作平台，各操作平台由下至上依次设置。

10.根据权利要求1～9任一项所述镀膜设备实现一种真空管道用的磁场移动式镀膜方法，其特征在于，将内置有靶源组件的真空管道固定安装于机架上，真空管道分段形成多个镀膜工位，磁铁组件在升降平台机构的带动下在真空管道外周进行升降运动，按照由上至下或由下至上的方式逐个停留在对应的镀膜工位上，为真空管道的镀膜提供磁场作用。