[发明专利]激光二极管条及其制造方法、使用其的波长光束耦合系统

权利要求书

1.一种激光二极管条，用于波长光束耦合系统，

所述激光二极管条具备：

氮化物半导体基板，将(0001)面作为面方位，并且具有从(0001)面向m轴或a轴的至少一个轴被赋予了大于0°的偏离角的基板面；

层叠构造体，形成在所述氮化物半导体基板上，包括第1导电型包层、活性层以及第2导电型包层；和

多个发射极，以发射极的波导方向与所述偏离角的主轴方向垂直的方式，呈条带状地形成于所述层叠构造体。

2.根据权利要求1所述的激光二极管条，其中，

所述偏离角的主轴方向的分布的斜率相对于所述多个发射极的锁定波长的分布的斜率而满足下述式(1)，

0＜ΔD≤((Δλ_{EC_bar}+3.2)/Lt)/30 式(1)

其中，ΔD表示所述偏离角的主轴方向的分布的斜率，单位为角度/mm，Lt表示所述激光二极管条的长度方向的长度，单位为mm，Δλ_{EC_bar}表示所述激光二极管条的长度方向的两端位置的锁定波长差，单位为nm。

3.根据权利要求1所述的激光二极管条，其中，

所述偏离角的主轴方向的分布的斜率以及所述多个发射极的锁定波长的分布满足下述式(2)以及式(3)，

0≤((Δλ_{EC_bar}-1.2)/Lt)/30 式(2)

((Δλ_{EC_bar}-1)/Lt)/0.3≤ΔD≤((Δλ_{EC_bar}+1)/Lt)/30 式(3)

其中，ΔD表示所述偏离角的主轴方向的分布的斜率，单位为角度/mm，Lt表示所述激光二极管条的长度方向的长度，单位为mm，Δλ_{EC_bar}表示所述激光二极管条的长度方向的两端位置的锁定波长差，单位为nm。

4.根据权利要求1所述的激光二极管条，其中，

所述偏离角的主轴方向的分布的斜率以及所述多个发射极的锁定波长的分布满足下述式(4)以及式(5)，

0＞((Δλ_{EC_bar}-1.2)/Lt)/30 式(4)

0＜ΔD≤((Δλ_{EC_bar}+1.2)/Lt)/30 式(5)

其中，ΔD表示所述偏离角的主轴方向的分布的斜率，单位为角度/mm，Lt表示所述激光二极管条的长度方向的长度，单位为mm，Δλ_{EC_bar}表示所述激光二极管条的长度方向的两端位置的锁定波长差，单位为nm。

5.根据权利要求1所述的激光二极管条，其中，

所述多个发射极的锁定波长的分布的斜率是正负与所述多个发射极的放大自发辐射ASE波长的分布的斜率相同的朝向。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的激光二极管条，其中，

所述激光二极管条的波导方向的长度在0.3mm以上且8mm以内。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的激光二极管条，其中，

所述激光二极管条的波导方向的长度在1mm以上且6mm以内。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的激光二极管条，其中，

所述偏离角的主轴方向是a轴方向。

9.一种波长光束耦合系统，具备：

权利要求1至8中任一项所述的激光二极管条；

衍射光栅，对从所述激光二极管条的所述多个发射极分别射出的多个激光进行衍射；和

外部谐振镜，对被所述衍射光栅衍射的激光的一部分进行反射而使其返回到所述激光二极管条侧，并使其在该外部谐振镜与所述激光二极管条的反射膜之间进行外部谐振。