[发明专利]一种便于在线实时清理的CVD炉过滤装置

说明书

一种便于在线清理的CVD炉过滤装置，过滤箱的进气口与炉体连通，并在过滤箱与炉体之间增加了波纹管和气动挡板阀；在该过滤箱内底部安放有集油盘。两个滤芯通过托块安放在废气排出管道内的两端，并使两个滤芯分别与一个真空泵的接口相对应，且各滤芯轴向长度的1/2处与所述真空泵接口的圆心相对应，使该滤芯在该废气排出管道内将真空泵的接口完全遮挡。该过滤箱的出气口通过管道与废气排出管道连通，在该废气排出管道的圆周上开有两个真空泵接口，使该废气排出管道形成了三通管。本发明不需停炉随时可清理真空沉积炉中的残留焦油，实现了真空沉积炉的连续运行，并且无需更换真空泵，仅此一项即可节省经费8～15万。

技术领域

本发明涉及一种真空沉积炉使用的尾气过滤装置。特别是针对真空炉沉积过程中炉内尾气收集在过滤箱而过滤箱需频繁清理的场合。

背景技术

真空感应沉积炉在沉积过程中原料气裂解后有效成分沉积在产品中，其余气体成分便成为废气由真空泵排出炉体。尾气在排出过程中经由炉体、真空管道、各种阀门、过滤箱、真空泵等环节。尾气成分复杂，大多为焦油。焦油的软化点在80～90℃之间，当温度低于80℃时为黏性固体，不易清理。液体的粘度随着温度升高而降低，温度越高流动性越好，焦油可流动时便于清理。但焦油温度不能太高，因为它是易燃物品，应控制在适当温度。一般沉积炉都配备有过滤箱装置，早期沉积炉配备的过滤箱底部留有放焦油口，每次停炉后清理过滤箱时，焦油已凝固，根本无流动性，焦油无法排出。后来也有过滤箱做成为长方体结构的，采用带有起吊把手的侧开门，四周由螺栓固定，清理时松开螺栓，用吊车或叉车吊起侧门。由于结构笨重、不易操作，清理时，要么出现侧门一旦打开过滤箱内焦油随即淌出，要么焦油已凝固堆积，用榔头、钢钎清理。以上各种结构不便于清理焦油，造成过滤箱成为焦油收集箱，同时真空管道、各种功能阀也被堵塞，降低了真空泵的效率。炉内压力不受控制，影响了沉积效果。

专利CN205874237U公开了一种气相沉积炉自动除焦油装置，该装置的过滤器与冷凝器锥型底内设置有加热装置，过滤器与冷凝器锥型底端均设有焦油出口，能够使焦油自动收集，不需人工拆卸。而沉积炉运行中要求炉压稳定，该装置与炉体连接，并且焦油加热不仅使控制部分复杂化而且焦油为易燃物品，存在安全隐患。

专利CN208660652U公开了一种真空化学气相沉积炉焦油、炭墨过滤器，该过滤器本体内部从上而下设置有若干过滤单元，过滤器本体的底部设有排污口，过滤器本体一侧的上端设有排气口，另一侧的下端设有进气口。该过滤器能够将气相沉积炉内的焦油、炭墨过滤掉，防止焦油或炭墨堵塞真空泵管道。但该过滤器仅当压差值大于设定值时，系统报警给出提示时，才进行清理或更换过滤体，不能实现在沉积炉运行过程中在线实时清理。

发明内容

为克服现有技术中存在的停炉后清理时，焦油凝固无法排出或者对焦油加热处理存在安全隐患的不足，本发明提出了一种便于在线清理的CVD炉过滤装置。

本发明包括波纹管、第一气动挡板阀、进气管道、过滤箱、滤芯、手动蝶阀、第二气动挡板阀、支架、废气排出管道、出气口和真空泵接口。其中：所述过滤箱安装在支架上。该过滤箱的进气口通过进气管道与炉体连通，并在该过滤箱与炉体之间的进气管道上增加了波纹管和第一气动挡板阀；并使该波纹管位于炉体一端；在该过滤箱内底部安放有集油盘。两个滤芯通过托块安放在废气排出管道内的两端，并使两个滤芯分别与一个真空泵的接口相对应，且各滤芯轴向长度的1/2处与所述真空泵接口的圆心相对应，使该滤芯在该废气排出管道内将真空泵的接口完全遮挡。该过滤箱的出气口通过管道与废气排出管道连通，在该废气排出管道的圆周上开有两个真空泵接口，使该废气排出管道形成了三通管。

所述过滤箱为矩形箱体，有门的一端为前端。在该过滤箱的上端面有进气管道的接口，在该过滤箱的一侧表面有出气口。在该过滤箱两侧内表面和后端内表面均固定有多层滤网支撑架，多片过滤箱滤网分别安放在各层滤网支撑架上，并使相邻两层滤网中上一层滤网的下表面与下一层滤网的上表面之间的间距为200mm；所述多层滤网中，位于该过滤箱内最下端的滤网的下表面须位于所述出气口的上方。