[发明专利]一种便于在线实时清理的CVD炉过滤装置

权利要求书

1.一种便于在线实时清理的CVD炉过滤装置，其特征在于，包括波纹管、第一气动挡板阀、进气管道、过滤箱、滤芯、手动蝶阀、第二气动挡板阀、支架、废气排出管道、出气口和真空泵接口；其中：所述过滤箱安装在支架上；该过滤箱的进气口通过进气管道与炉体连通，并在该过滤箱与炉体之间的进气管道上增加了波纹管和第一气动挡板阀；并使该波纹管位于炉体一端；在该过滤箱内底部安放有集油盘；两个滤芯通过托块安放在废气排出管道内的两端，并使两个滤芯分别与一个真空泵的接口相对应，且各滤芯轴向长度的1/2处与所述真空泵接口的圆心相对应，使该滤芯在该废气排出管道内将真空泵的接口完全遮挡；该过滤箱的出气口通过管道与废气排出管道连通，在该废气排出管道的圆周上开有两个真空泵接口，使该废气排出管道形成了三通管；

所述过滤箱为矩形箱体，有门的一端为前端；在该过滤箱的上端面有进气管道的接口，在该过滤箱的一侧表面有出气口；在该过滤箱两侧内表面和后端内表面均固定有多层滤网支撑架，多片过滤箱滤网分别安放在各层滤网支撑架上，并使相邻两层滤网中上一层滤网的下表面与下一层滤网的上表面之间的间距为200mm；所述多层滤网中，位于该过滤箱内最下端的滤网的下表面须位于所述出气口的上方；

所述滤芯为鼠笼式；该滤芯的外径比所述废气排出管道的内径小8～10mm；在该滤芯的外圆周表面和两端端面分别包裹有滤芯滤网。

2.如权利要求1所述便于在线实时清理的CVD炉过滤装置，其特征在于，所述废气排出管道的两端分别通过法兰安装有端盖，并且该端盖的圆周表面上均布有四个手轮，通过各手轮能够方便的将该端盖开闭。

3.如权利要求1所述便于在线实时清理的CVD炉过滤装置，其特征在于，在所述废气排出管道内的两端分别有用于支撑鼠笼式滤芯的托块，将所述滤芯的两端分别安放在该托块上，并使安放后的滤芯与该废气排出管道的同轴。

4.如权利要求3所述便于在线实时清理的CVD炉过滤装置，其特征在于，所述各托块轴向之间的距离须与该滤芯中相邻两根钢筋的间距相同，以保证滤芯中的钢筋安放在各托块上；所述各组托块中的轴向距离小于该滤芯的轴向长度。

5.如权利要求1所述便于在线实时清理的CVD炉过滤装置，其特征在于，所述真空泵接口的直径为200mm，该滤芯的轴向长度为400mm。

6.如权利要求1所述便于在线实时清理的CVD炉过滤装置，其特征在于，所述滤芯滤网的网格为1mm×1mm。

7.如权利要求1所述便于在线实时清理的CVD炉过滤装置，其特征在于，在各滤网支撑架上表面的边缘有向下倾斜45°的导流板，通过该导流板使沉积的焦油流向位于该过滤箱内底部的集油盘；各滤箱滤网的网格为4mm×5mm。

8.如权利要求7所述便于在线实时清理的CVD炉过滤装置，其特征在于，所述集油盘四周为向外倾斜的倒梯形面，底面为正方形结构，底座焊接在集油盘的底部背面，底座高度20mm。

9.如权利要求1所述便于在线实时清理的CVD炉过滤装置，其特征在于，在所述废气排出管道与真空泵之间的真空管上安装有手动蝶阀和第二气动挡板阀，并使该手动蝶阀靠近所述废气排出管道。