[发明专利]一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台

权利要求书

1.一种用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，包括第一移动平台(1)，第一移动平台(1)用于实现X、Y方向移动二自由度调整，第一移动平台(1)的上方设置有第二移动平台(2)，第二移动平台(2)用于实现Z方向移动以及绕X、Y方向翻转运动三自由度调整，第二移动平台(2)上设置有一块离轴非球面子镜，通过第一移动平台(1)和第二移动平台(2)实现离轴非球面子镜的五自由度位姿调整。

2.根据权利要求1所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第一移动平台(1)包括第一底座(105)，第一底座(105)的一侧通过第一挡板(101)与第一直线电机连接，第一直线电机的输出端连接有第二底座(111)，第二底座(111)通过第三挡板(117)与第二直线电机连接，第二直线电机的输出端连接第四挡板(120)，第一直线电机和第二直线电机配合实现第四挡板(120)在X、Y方向二自由度的精密直线运动。

3.根据权利要求2所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第一挡板(101)竖直设置在第一底座(105)的一侧，第一挡板(101)与第一直线电机定子部分(102)的一端连接，第一直线电机定子部分(102)的另一端经第一直线电机动子部分(103)与第二挡板(104)的一侧连接；第二挡板(104)另一侧连接有第二底座(111)，第二底座(111)上设置有第一光栅尺(108)，第一底座(105)上设置有第一读数头(109)，第一底座(105)与第一读数头(109)之间设置有第一垫块(110)。

4.根据权利要求3所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第二底座(111)上设置有第一导轨(106)，第一导轨(106)上设置有第一滑块(107)，第一光栅尺(108)设置在第一滑块(107)上。

5.根据权利要求2所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第三挡板(117)与第二直线电机定子部分(118)的一端连接，第二直线电机定子部分(118)的另一端经第二直线电机动子部分(119)与第四挡板(120)连接，第二直线电机动子部分(119)推动第四挡板(120)实现直线运动；第二底座(111)上分别设置有第二读数头(113)和第二光栅尺(114)。

6.根据权利要求5所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第二底座(111)上靠近第二挡板(104)的一侧设置有第二导轨(115)，第二导轨(115)上设置有第二滑块(116)，第二光栅尺(114)设置在第二滑块(116)上，第二底座(111)和第二读数头(113)之间设置有第二垫块(112)。

7.根据权利要求1所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，第二移动平台(2)包括第一承载盘(201)和第二承载盘(211)，第一承载盘(201)的下侧与第一移动平台(1)的第四挡板(120)连接，第一承载盘(201)和第二承载盘(211)之间竖直间隔设置有三个直线电机，能够实现X、Y方向翻转运动的自由度位姿调整，第二承载盘(211)的上方与离轴非球面子镜连接，通过第二移动平台(2)带动第二承载盘(211)在Z方向以及绕X、Y方向翻转的三自由度精密调整。

8.根据权利要求7所述的用于离轴非球面子镜拼接的五自由度调整平台，其特征在于，三个直线电机结构相同，包括第三直线电机、第四直线电机和第五直线电机，三个直线电机的两端与第一承载盘(201)和第二承载盘(211)之间均采用虎克铰(202)连接。