[发明专利]悬浮物的测量装置和气浮卡盘

说明书

本申请实施例提供了一种悬浮物的测量装置和气浮卡盘。该气浮卡盘包括悬浮部件，用于在悬浮部件的上表面形成气垫以使悬浮物悬浮，其中，气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度以使悬浮物倾斜预设角度；至少一个阻挡部件，位于悬浮部件的侧边，用于阻挡悬浮物沿气垫的上表面的倾斜方向移动。本申请实施例能够使得悬浮物的位置固定，且能够避免悬浮物产生较大的应力而变形。

技术领域

本申请涉及卡盘结构设计的技术领域，具体涉及一种悬浮物的测量装置和气浮卡盘。

背景技术

物体如晶圆、薄膜等悬浮物在悬浮的过程中，极易沿任何方向随意移动，这使得悬浮物的位置漂移不定。通常采用夹子夹住悬浮物边缘以固定悬浮物的位置，然而，这种方式由于夹持悬浮物的夹持力较大，因而，悬浮物会产生较大的应力而发生形变。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例致力于提供一种悬浮物的测量装置和气浮卡盘，以解决现有技术中固定悬浮物时悬浮物产生较大应力而变形的问题。

本申请的第一方面提供了一种气浮卡盘。该气浮卡盘包括：悬浮部件，用于在悬浮部件的上表面形成气垫以使悬浮物悬浮，其中，气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度以使悬浮物倾斜预设角度；至少一个阻挡部件，位于悬浮部件的侧边，用于阻挡悬浮物沿气垫的上表面的倾斜方向移动。

在本申请一实施例中，至少一个阻挡部件包括第一阻挡部件，第一阻挡部件与悬浮物接触以形成至少一个阻挡点。

在本申请一实施例中，至少一个阻挡点包括第一阻挡点，倾斜方向对应的延长线通过第一阻挡点，延长线为悬浮物的对称轴。

在本申请一实施例中，至少一个阻挡点包括第二阻挡点和第三阻挡点，第二阻挡点和第三阻挡点关于倾斜方向对应的延长线对称，延长线为悬浮物的对称轴。

在本申请一实施例中，至少一个阻挡部件还包括第二阻挡部件，其中，第一阻挡部件和第二阻挡部件分别以与倾斜方向对应的延长线对称的方式设置在悬浮部件的侧边，延长线为悬浮物的对称轴。

在本申请一实施例中，第一阻挡部件和/或第二阻挡部件靠近悬浮物的表面为弧形。

在本申请一实施例中，第一阻挡部件和第二阻挡部件的结构为圆杆。

在本申请一实施例中，悬浮部件包括堆叠的卡盘层和气流层，其中，卡盘层和/或气流层倾斜预设角度以使悬浮物倾斜预设角度，卡盘层远离气流层的表面上设置有与气流层连接的多个压力喷嘴或者多个压力喷嘴和多个吸力喷嘴，用于形成气垫。

在本申请一实施例中，悬浮部件还包括设置在气流层远离卡盘层的表面下方的至少一个倾斜平台，至少一个倾斜平台用于使卡盘层和气流层倾斜预设角度。

在本申请一实施例中，悬浮部件包括堆叠的卡盘层和气流层，其中，气流层中气体产生的作用力沿倾斜方向变小以使气垫倾斜预设角度，气垫驱动悬浮物倾斜预设角度。

在本申请一实施例中，悬浮物包括晶圆。

本申请的第二方面提供一种悬浮物的测量装置。该悬浮物的测量装置包括如本申请的第一方面提供的任一种气浮卡盘；干涉仪，用于获取悬浮物的表面的干涉条纹图像，以基于干涉条纹图像对悬浮物进行形状测量和/或平整度测量，干涉仪设置为倾斜预设角度。

根据本申请实施例提供的技术方案，通过设置由悬浮部件所形成的气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度，从而使得悬浮物悬浮在悬浮部件的上表面且相对于水平面倾斜预设角度，进而使得悬浮物的移动方向固定。另外，通过在悬浮部件的侧边设置至少一个阻挡部件，利用至少一个阻挡部件阻挡悬浮物沿上表面的倾斜方向移动，从而使得悬浮物的位置固定，且避免悬浮物产生较大应力而变形。

附图说明

图1A所示为本申请一实施例提供的一种气浮卡盘的断面示意图。