[发明专利]一种AMOLED金属掩膜板智能清洗工艺

说明书

本发明公开了一种AMOLED金属掩膜板智能清洗工艺，包括上框架、前框架、后安装座和整机体，所述整机体内上部安装有上框架，且上框架的左端设置有左竖滑轨，并且上框架的右端设置有右竖滑轨，所述左竖滑轨和右竖滑轨之间设置有横架板，所述横架板的下方平行设置有吊架，且吊架下安装有工件，所述整机体的下部前方设置有前框架，整机体的后部右侧设置有后安装座，所述后安装座的上端面前部安装有电控制箱，且后安装座的上端面后部安装有三级过滤器。该AMOLED金属掩膜板智能清洗工艺，利用高效超声波清洗可大幅缩短金属掩模板表面清洁时间，并减少工作人员与之接触的风险，更减少物料成本，清理后的水会经过三级过滤器过滤再利用，更经济节能环保。

技术领域

本发明涉及AMOLED金属掩膜板清洗相关技术领域，具体为一种AMOLED金属掩膜板智能清洗工艺。

背景技术

AMOELD制程中，在蒸镀设备使用上不可缺少的重要金属掩膜板，当此金属掩模板表面不干净时，在蒸镀过程中会使得产品良率下降，故金属掩膜板表面洁净度更是为重要，现有技术的表面清洗工艺采用IPA或是酒精进行表面擦拭，在进行AOI检测或目视强光灯检测，若擦拭不掉之异常，则使用雷射去除，

但是，此工艺虽可达到金属掩膜板表面除尘清洁效果，但存在相当大的人员操作导致金属掩膜板受损的风险，同时也相对耗時和需使用大量的物料。

发明内容

本发明的目的在于提供一种AMOLED金属掩膜板智能清洗工艺，以解决上述背景技术中提出的现有技术的AMOLED金属掩膜板清洗工艺虽可达到金属掩膜板表面除尘清洁效果，但存在相当大的人员操作导致金属掩膜板受损的风险，同时也相对耗時和需使用大量的物料的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种AMOLED金属掩膜板智能清洗工艺，包括上框架、前框架、后安装座和整机体，所述整机体内上部安装有上框架，且上框架的左端设置有左竖滑轨，并且上框架的右端设置有右竖滑轨，所述左竖滑轨和右竖滑轨之间设置有横架板，所述横架板的下方平行设置有吊架，且吊架下安装有工件，所述整机体的下部前方设置有前框架，所述整机体的后部右侧设置有后安装座，所述后安装座的上端面前部安装有电控制箱，且后安装座的上端面后部安装有三级过滤器。

进一步的，所述前框架的上部设置有站台，且站台的左端设置有阶梯，并且前框架的底部安装有多组滚轮，且滚轮采用橡胶材质的万向轮结构。

进一步的，所述横架板的左端头设置有第二滑块，第二滑块滑动连接在左竖滑轨上，且横架板的右端头设置有第三滑块，第三滑块滑动连接在右竖滑轨上，并且横架板在垂直方向上升降活动。

进一步的，所述横架板的下端面左部和右部均通过紧固螺栓安装有安装板，且两边的安装板的下端分别安装在吊架的左右两端，并且横架板的下端面设置有两组上连接板，且吊架的左部和右部均设置有一组下连接板，每组上连接板的下端均与一组下连接板的上端安装在一起。

进一步的，所述工件的四边缘均安装有边框固定件，且每组边框固定件均通过多组L形连接板安装在后安装板上，并且吊架和工件均可升降活动。

进一步的，所述整机体的下部设置有清洗槽，且清洗槽的左侧面设置有左挡板,左挡板的上端设置有左固定板，左固定板的上端面安装有左横滑轨，并且清洗槽的右侧面设置有右挡板,右挡板上设置有右固定板，右固定板的上端面安装有右横滑轨，且清洗槽的后侧面内壁上安装有超声清洗器。

进一步的，所述左竖滑轨的底端设置有第一滑块,第一滑块滑动连接在左横滑轨上，且右竖滑轨的底端设置有，滑动连接在右横滑轨上，并且左竖滑轨和第一滑块在水平方向上前后移动活动。

进一步的，所述三级过滤器包括入库过滤、发放过滤和加油过滤，且三级过滤器中的三级过滤分别采用60目滤网、80目滤网和100目滤网。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：