[发明专利]玻璃工件激光处理系统及方法在审

专利信息
申请号: 202110388912.0 申请日: 2021-04-12
公开(公告)号: CN113843516A 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 林茂吉;吕绍铨;胡平浩 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/02;B23K26/064;B23K26/04;B23K26/0622;B23K26/70
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 玻璃 工件 激光 处理 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种玻璃工件激光处理系统,其特征在于,包括:

框架;

改质装置,其包括:

第一激光模块,设置于该框架,该第一激光模块用以产生第一激光光束以对玻璃工件改质;以及

下料装置,其包括:

第二激光模块,设置于该框架,该第二激光模块用以产生第二激光光束且用以使该玻璃工件升温;

中空承载件,设置于该框架,该中空承载件用以承载该玻璃工件且接触该玻璃工件的外周区域;

加热器,设置于该中空承载件,该加热器用以使该外周区域升温;

夹持模块,设置于该框架,该夹持模块用以夹持该玻璃工件的内部区域;以及

冷却器,设置于该夹持模块,该冷却器用以使该内部区域降温。

2.如权利要求1所述的玻璃工件激光处理系统,其中该改质装置还包括至少一驱动模块,设置于该框架,用以驱动该玻璃工件相对于该框架移动。

3.如权利要求2所述的玻璃工件激光处理系统,其中该改质装置还包括真空吸盘,设置于该至少一驱动模块,用以承载并固定该玻璃工件。

4.如权利要求1所述的玻璃工件激光处理系统,其中该改质装置还包括线型聚焦光束模块,设置于该框架,用以改变该第一激光光束的景深。

5.如权利要求1所述的玻璃工件激光处理系统,其中该下料装置还包括至少一驱动模块,设置于该框架,用以驱动该夹持模块相对于该框架移动。

6.如权利要求1所述的玻璃工件激光处理系统,其中该下料装置还包括光路导引模块,设置于该框架,用以改变该第二激光光束照射于该玻璃工件的位置。

7.如权利要求1所述的玻璃工件激光处理系统,还包括光学检测模块,用以提取该玻璃工件的影像。

8.如权利要求1所述的玻璃工件激光处理系统,还包括控制单元及存储单元,该控制单元电连接至该第二激光模块、该加热器、该夹持模块、该冷却器及该存储单元,该存储单元用以存储相异的多个下料工序,该控制单元用以根据该玻璃工件的几何参数自该存储单元读取该些下料工序的其中一者,且用以根据所读取的该下料工序控制该第二激光模块、该加热器、该夹持模块或该冷却器运作。

9.一种玻璃工件激光处理方法,其包括:

改质工序,沿加工轮廓线将第一激光光束照射至玻璃工件,使该玻璃工件中沿该加工轮廓线断续地改质;

下料工序,令该玻璃工件的受改质处产生裂痕,该裂痕将该玻璃工件划分为外周区域及位于该外周区域之内的内部区域,且改变该玻璃工件的温度而使的变形,使该外周区域的内部尺寸与该内部区域的外缘尺寸的差异达到一阈值,以将该外周区域与该内部区域相分离;以及

判断工序,在该下料工序之前,计算根据γ值判断所要进行的该下料工序,其中表示该加工轮廓线的等效直径,d表示该加工轮廓线至该玻璃工件的外缘的等效距离,t表示该玻璃工件的厚度。

10.如权利要求9所述的玻璃工件激光处理方法,其中该加工轮廓线为封闭轮廓线。

11.如权利要求9所述的玻璃工件激光处理方法,其中该加工轮廓线的等效直径为该加工轮廓线在多个方向上的直径的平均值,该加工轮廓线至该玻璃工件的边缘的等效距离d为该加工轮廓线至该玻璃工件的边缘在多个方向上的距离的平均值。

12.如权利要求9所述的玻璃工件激光处理方法,其中在该判断工序中,判断是否满足γ>3,若是则该下料工序包括:

裂痕产生工序,沿该加工轮廓线将第二激光光束照射至该玻璃工件,以令该玻璃工件的受改质处产生该裂痕;以及

分离工序,在该裂痕产生工序之后,将该第二激光光束照射至该外周区域以对该外周区域加热,以将该外周区域与该内部区域相分离。

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