[发明专利]一种声表面波谐振器和射频滤波器

说明书

本发明实施例提供一种声表面波谐振器和射频滤波器，该声表面波谐振器包括：衬底；位于衬底上的压电层；电极层，电极层位于压电层远离衬底的一侧；电极层包括叉指式换能器，叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；第一电极指和第二虚设电极指相对设置，第一电极指和第二虚设电极之间具有第一间隙，第二电极指和第一虚设电极指相对设置，第二电极指和第一虚设电极之间具有第二间隙。本发明实施例提供的声表面波谐振器和射频滤波器，可以使横向模式波纹得到有效的抑制。

技术领域

本发明涉及通信领域，特别是涉及一种声表面波谐振器和射频滤波器。

背景技术

随着通信技术从2G发展至5G，通信频段数目逐步增加(从2G的4个频段上升到5G的50余个频段)。为了提高智能手机对不同通信制式的兼容能力，5G智能手机所需要的滤波器用量将显著上升，推动滤波器市场大规模增长。目前无线通信终端中广泛应用的射频滤波器是声表面波滤波器，负责接收和发射通道的射频信号，将输入的多种射频信号中特定频率的信号输出。同时，随着移动通讯技术的持续发展和射频前端模组化发展，市场对滤波器的需求趋向复杂化，高端化，小型化。

基于单晶压电钽酸锂衬底的声表面波器件已广泛应用于射频滤波器，受限于单晶压电材料的Q值和高频率温度系数，已难满足射频前端芯片的要求。

仍然采用传统设计的声表面波谐振器和射频滤波器在实际应用中会出现很强的横向模式波纹，通带杂波严重，导致整体器件性能的恶化。

发明内容

本发明实施例提供的声表面波谐振器和射频滤波器，可以使横向模式波纹得到有效的抑制。

第一方面，本发明实施例提供一种声表面波谐振器，该声表面波谐振器包括：衬底；

位于所述衬底上的压电层；

电极层，所述电极层位于所述压电层远离所述衬底的一侧；

所述电极层包括叉指式换能器，所述叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至所述第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至所述第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；所述第一电极指和所述第二虚设电极指相对设置，所述第一电极指和所述第二虚设电极之间具有第一间隙，所述第二电极指和所述第一虚设电极指相对设置，所述第二电极指和所述第一虚设电极之间具有第二间隙；

所述第一汇流条包括第一子汇流条和第二子汇流条，所述第一子汇流条和所述第二子汇流条连接；

所述第二汇流条包括第三子汇流条和第四子汇流条，所述第三子汇流条与所述第四子汇流条连接；所述第一间隙包括第一子间隙和第二子间隙，所述第二间隙包括第三子间隙和第四子间隙，所述第一子间隙以及所述第三子间隙位于所述第一子汇流条和所述第三子汇流条之间，所述第二子间隙以及所述第四子间隙位于所述第二子汇流条和所述第四子汇流条之间；

其中，各所述第一子间隙沿第一方向排布，各所述第三子间隙沿第一方向排布，各所述第二子间隙沿第二方向排布，各所述第四子间隙沿第二方向排布；

第一方向与第三方向的夹角范围为2°～15°，第二方向与第三方向的夹角范围为2°～15°，在与所述压电层的平面平行的方向上，所述第三方向与所述第一电极指的长度方向垂直。

可选的，所述第一子汇流条和所述第三子汇流条平行，所述第一子汇流条的长度方向与所述第一方向平行，所述第二子汇流条和所述第四子汇流条平行，所述第二子汇流条的长度方向与所述第二方向平行。

可选的，相邻所述第一间隙之间设置有一所述第一电极指，相邻所述第二间隙之间设置有一所述第二电极指。