[发明专利]一种声表面波谐振器和射频滤波器

权利要求书

1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：

衬底；

位于所述衬底上的压电层；

电极层，所述电极层位于所述压电层远离所述衬底的一侧；

所述电极层包括叉指式换能器，所述叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至所述第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至所述第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；所述第一电极指和所述第二虚设电极指相对设置，所述第一电极指和所述第二虚设电极之间具有第一间隙，所述第二电极指和所述第一虚设电极指相对设置，所述第二电极指和所述第一虚设电极之间具有第二间隙；

所述第一汇流条包括第一子汇流条和第二子汇流条，所述第一子汇流条和所述第二子汇流条连接；

所述第二汇流条包括第三子汇流条和第四子汇流条，所述第三子汇流条与所述第四子汇流条连接；所述第一间隙包括第一子间隙和第二子间隙，所述第二间隙包括第三子间隙和第四子间隙，所述第一子间隙以及所述第三子间隙位于所述第一子汇流条和所述第三子汇流条之间，所述第二子间隙以及所述第四子间隙位于所述第二子汇流条和所述第四子汇流条之间；

其中，各所述第一子间隙沿第一方向排布，各所述第三子间隙沿第一方向排布，各所述第二子间隙沿第二方向排布，各所述第四子间隙沿第二方向排布；

第一方向与第三方向的夹角范围为2°～15°，第二方向与第三方向的夹角范围为2°～15°，在与所述压电层的平面平行的方向上，所述第三方向与所述第一电极指的长度方向垂直。

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，

所述第一子汇流条和所述第三子汇流条平行，所述第一子汇流条的长度方向与所述第一方向平行，所述第二子汇流条和所述第四子汇流条平行，所述第二子汇流条的长度方向与所述第二方向平行。

3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，相邻所述第一间隙之间设置有一所述第一电极指，相邻所述第二间隙之间设置有一所述第二电极指。

4.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一电极指和所述第二电极指均包括主体和与所述主体一体连接的端头，所述第一电极指的所述端头位于所述第一电极指的主体远离所述第一汇流条的一侧，所述第二电极指的所述端头位于所述第二电极指的主体远离所述第二汇流条的一侧；

所述第一虚设电极指和所述第二虚设电极指均包括主体和与所述主体一体连接的端头，所述第一虚设电极指的所述端头位于所述第一虚设电极指的主体远离所述第一汇流条的一侧，所述第二虚设电极指的所述端头位于所述第二虚设电极指的主体远离所述第二汇流条的一侧；

在第三方向上，所述端头的宽度大于所述主体的宽度。

5.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，在第三方向上，所述端头的宽度为所述主体的宽度的1.2倍～1.8倍。

6.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，所述第一电极指上的端头与所述第二虚设电极指上的端头相对设置；

所述第二电极指上的端头与所述第一虚设电极指上的端头相对设置。

7.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述电极层还包括反射栅结构；

所述反射栅结构包括第三汇流条、第四汇流条和反射栅；所述第三汇流条与所述第四汇流条平行设置；

所述反射栅的第一端与所述第三汇流条连接，所述反射栅的第二端与所述第四汇流条连接；

在所述第一子汇流条远离所述第二子汇流条的一侧设置一个反射栅结构，在所述第二子汇流条远离所述第一子汇流条的一侧设置一个反射栅结构；

其中，所述第三汇流条与所述反射栅垂直且所述第三汇流条与所述第一方向的夹角范围为2～15°；

或者所述第三汇流条与所述反射栅的夹角范围为75°～88°且位于所述第一子汇流条远离所述第二子汇流条的一侧的反射栅结构中的所述第三汇流条的长度方向与所述第一方向平行，以及位于第二子汇流条远离所述第一子汇流条的一侧的反射栅结构中的第三汇流条的长度方向与所述第二方向平行。